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J-GLOBAL ID：201202283734641137   整理番号：12A0265958

反応性高周波マグネトロンスパッタリングによりルチル型TiO₂/サファイア(100)テンプレート上へのナノ構造化RuO₂の蒸着と構造特性評価

Deposition and structural characterization of nanostructured RuO₂ on rutile-TiO₂/sapphire(100) templates by reactive radio frequency magnetron sputtering

著者 (7件)： CHEN Y.m. ,  YEH C.n. ,  CHEN C.a. ,  HUANG Y.s. ,  HSU H.p. ,  TSAI D.s. ,  TIONG K.k.
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 520  号： 7  ページ： 2810-2813  発行年： 2012年01月31日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 反応高周波マグネトロンスパッタリングによりルチル型(R)-TiO₂サファイア(100)テンプレート上へナノ構造化RuO₂を蒸着し,構造特性評価の結果を報告する。RuO₂/R-TiO₂ヘテロナノ構造の電界放出走査電子顕微鏡写真とX線回折パターンは,R-TiO₂ナノロッド(NR)頂上に垂直に揃ったRuO₂(001)ナノチューブ(NT)あるいはまたV字形のRuO₂(101)ナノ楔(NW)が成長したことを示す。垂直に揃ったRuO₂NTの透過型電子顕微鏡と制限視野回折による特性評価は,正方断面で中空のRuO₂NTは端が開いた形態を持ち,長い軸は[001]方向を向いていることを示し,一方,V字形RuO₂NWから,ナノ楔は結晶性RuO₂であり,双晶面は(101),V接合の双晶方向は[-101]であることが明らかになった。R-TiO₂NR頂上に良く揃ったRuO₂ナノ結晶が形成される考えられる機構を論じた。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： スパッタ蒸着 ,  マグネトロンスパッタリング ,  酸化チタン ,  サファイア ,  基板 ,  *酸化ルテニウム ,  素子構造 ,  走査電子顕微鏡 ,  X線回折 ,  ナノチューブ ,  *ナノ構造 ,  透過型電子顕微鏡 ,  制限視野回折 ,  双晶
準シソーラス用語： *RFマグネトロンスパッタリング ,  ヘテロ構造 ,  電界放出走査電子顕微鏡 ,  ナノ楔 ,  反応性マグネトロンスパッタリング

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (9件)： 反応性 ,  高周波マグネトロンスパッタリング ,  ルチル ,  TiO2 ,  サファイア ,  テンプレート ,  ナノ構造 ,  蒸着 ,  特性評価