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J-GLOBAL ID:201202284079769300   整理番号:12A1370174

集積メタマテリアル吸収体を有する微小電気機械システム二元材料テラヘルツセンサ

Microelectromechanical systems bimaterial terahertz sensor with integrated metamaterial absorber
著者 (4件):
資料名:
巻: 37  号: 11  ページ: 1886-1888  発行年: 2012年06月01日 
JST資料番号: H0690A  ISSN: 0146-9592  CODEN: OPLEDP  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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本短報は,微小電気機械システム(MEMS)二元材料テラヘルツ(THz)センサ(3.8THzで作動)の製造について記した。入射THz放射は,二元材料で集積したメタマテリアル構造によって吸収した。この吸収体は,量子カスケードレーザ照射源と整合する共鳴周波数を用いて設計し,一方で,構造支持,必要な熱機械特性および光読取アクセスを同時にもたらした。測定結果は,製造したこの吸収体が,3.8THzで,ほぼ90%の吸収を有することを示した。また,0.1°/μWの応答性と,14msの時定数とを観測した。メタマテリアル吸収体の利用は,潜在的THz画像処理応用に対して,高感度を達成するのに必要なセンサ応答の同調を可能にした。(翻訳著者抄録)
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分類 (1件):
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電磁気的量の計測一般 
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