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J-GLOBAL ID：201202284123732427   整理番号：12A1000311

ハイブリッドイオンビーム法で作製したTi含有ダイヤモンド状炭素薄膜に関する微細構造,機械的性質およびトライボロジー挙動の研究

Investigation of the microstructure, mechanical properties and tribological behaviors of Ti-containing diamond-like carbon films fabricated by a hybrid ion beam method

著者 (6件)： DAI Wei (Ningbo Key Lab. of Marine Protection Materials, Div. of Surface Engineering, Ningbo Inst. of Materials Technol. and ...) ,  DAI Wei (Future Convergence Technol. Div., Korea Inst. of Sci. and Technol., Seoul, 130-650, KOR) ,  KE Peiling (Ningbo Key Lab. of Marine Protection Materials, Div. of Surface Engineering, Ningbo Inst. of Materials Technol. and ...) ,  MOON Myoung-woon (Future Convergence Technol. Div., Korea Inst. of Sci. and Technol., Seoul, 130-650, KOR) ,  LEE Kwang-ryeol (Future Convergence Technol. Div., Korea Inst. of Sci. and Technol., Seoul, 130-650, KOR) ,  WANG Aiying (Ningbo Key Lab. of Marine Protection Materials, Div. of Surface Engineering, Ningbo Inst. of Materials Technol. and ...)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 520  号： 19  ページ： 6057-6063  発行年： 2012年07月31日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 異なるTi含量のダイヤモンド状炭素(DLC)薄膜について,アノード層線形イオンビーム源およびDCマグネトロンスパッタリングユニットからなるハイブリッドイオンビームシステムを用いて調べた。薄膜の組成および微細構造の注意深いキャラクタリゼーションを,X線光電子分光法,透過型電子顕微鏡法およびRaman分光法を用いて行い,ドープしたTi原子が,DLC薄膜内で高い固溶度を有することを明らかにした。最大固溶度は,7~13原子%であることが分かった。Ti濃度がこの固溶度より低い場合には,ドープしたTi原子は,DLCマトリックスに溶解し,薄膜は,非晶質DLC構造の典型的な特徴を示し,低い圧縮応力,摩擦係数および摩耗速度を示した。しかし,ドープ量が固溶限度を超えると,Ti原子はC原子と結合し,DLCマトリックスに埋め込まれた炭化物ナノ粒子の形成をもたらした。この炭化物ナノ粒子の出現は,触媒効果に起因して黒鉛化を促進するが,薄膜硬度は著しい増強を示した。一方,硬い炭化物粒子は研磨摩耗挙動をもたらし,高い摩擦係数および摩耗速度を誘起した。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *ダイヤモンド状炭素 ,  イオンビーム蒸着 ,  *薄膜成長 ,  ドーピング ,  チタン ,  *トライボロジー ,  微細構造 ,  スパッタ蒸着 ,  マグネトロンスパッタリング ,  キャラクタリゼーション ,  X線光電子スペクトル ,  電子顕微鏡観察 ,  透過型電子顕微鏡 ,  Ramanスペクトル ,  固溶度 ,  圧縮応力 ,  *摩擦係数 ,  摩耗速度 ,  マトリックス【母体】 ,  黒鉛化 ,  走査電子顕微鏡
準シソーラス用語： DCマグネトロンスパッタリング

分類 (2件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (9件)： イオンビーム ,  作製 ,  Ti ,  ダイヤモンド状炭素 ,  薄膜 ,  微細構造 ,  機械的性質 ,  トライボロジー挙動 ,  研究