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J-GLOBAL ID：201202284552708925   整理番号：12A0312855

センサモルフォロジーと材料のデカップリング: ナノカラムスカフォード上への原子層蒸着

Decoupling sensor morphology and material: Atomic layer deposition onto nanocolumn scaffolds

著者 (5件)： TASCHUK M.t. (Dep. of Electrical and Computer Engineering, Univ. of Alberta, Edmonton, AB, Canada T6G 2V4) ,  HARRIS K.d. (NRC National Inst. for Nanotechnology, Edmonton, AB, Canada T6G 2M9) ,  SMETANIUK D.p. (Dep. of Electrical and Computer Engineering, Univ. of Alberta, Edmonton, AB, Canada T6G 2V4) ,  BRETT M.j. (Dep. of Electrical and Computer Engineering, Univ. of Alberta, Edmonton, AB, Canada T6G 2V4) ,  BRETT M.j. (NRC National Inst. for Nanotechnology, Edmonton, AB, Canada T6G 2M9)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 162  号： 1  ページ： 1-6  発行年： 2012年02月20日 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 原子層蒸着(ALD)により蒸着したコンフォーマルコーティングによるナノカラム相対湿度センサの直接表面修飾について示した。視斜角蒸着(GLAD)を用いてTiO₂とSiのナノカラム膜を作製した。両方の膜タイプは続いて≒0.3-4nm厚のALDのTiO₂でコートした。サブナノメーターのTiO₂層の添加が水接触角,センサ感度,および紫外線再生法のユーティリティに及ぼす衝撃についてテストした。0.5nmほどに薄いTiO₂コーティングにより,光触媒TiO₂膜の大幅な湿度センシングや再生機能が得られることが分った。原理的に,表面官能化とナノスケールモルフォロジーのデカップリングにより,活性センサ層のためのスカフォードとして,どのようなGLAD膜階層も用いられるであろう。そのような能力によりナノ構造化ガスセンサの設計者の自由度が増すことになる。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *化学蒸着 ,  モルフォロジー ,  デカップリング ,  材料 ,  ナノ構造 ,  柱状晶 ,  *基質 ,  *培地 ,  被覆 ,  相対湿度 ,  *湿度センサ ,  真空蒸着 ,  酸化チタン ,  ケイ素 ,  接触角 ,  感度 ,  酸化物 ,  薄膜 ,  光触媒 ,  官能化 ,  ガスセンサ ,  表面改質 ,  走査電子顕微鏡 ,  二酸化ケイ素
準シソーラス用語： シリカ ,  ALD【蒸着】 ,  コンフォーマルコーティング ,  *スキャフォールド【基質】 ,  ナノコラム ,  *原子層蒸着 ,  酸化物薄膜 ,  斜め蒸着 ,  表面官能化

分類 (3件)： 分析機器  (CC02020S) ,  コロイド化学一般  (CB11010C) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (2件)： デカップリング ,  原子層蒸着