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J-GLOBAL ID：201202284767674886   整理番号：12A1088695

低圧プラズマにおけるイオン種の質量分析診断

Mass spectrometry diagnosis of ion species in low-pressure plasmas

著者 (6件)： LUCENA-POLONIO M V (Universidad de Cordoba, Cordoba, ESP) ,  DIAZ-CABRERA J M (Universidad de Cordoba, Cordoba, ESP) ,  PALOP J I Fernandez (Universidad de Cordoba, Cordoba, ESP) ,  CRESPO R Morales (Universidad de Cordoba, Cordoba, ESP) ,  HERNANDEZ M A (Universidad de Cordoba, Cordoba, ESP) ,  BALLESTEROS J (Universidad de Cordoba, Cordoba, ESP)
資料名： Plasma Physics and Controlled Fusion  (Plasma Physics and Controlled Fusion)
巻： 53  号： 12,Pt.2  ページ： 124024.1-124024.10  発行年： 2011年12月 
JST資料番号： D0471A  ISSN： 0741-3335  CODEN： PLPHBZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (5件)： 低圧 ,  プラズマ ,  イオン種 ,  質量分析 ,  診断