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J-GLOBAL ID：201202285478741113   整理番号：12A1236048

スピンコート法による酸化亜鉛薄膜作製

Growth of Spin Coating ZnO Films using Diethylzinc Solution

著者 (4件)： 小嶋稔 (宮崎大 工) ,  新宮政人 (宮崎大 工) ,  吉野賢二 (宮崎大 工) ,  碇哲雄 (宮崎大 工)
資料名： Memoirs of the Faculty of Engineering, University of Miyazaki  (Memoirs of the Faculty of Engineering, University of Miyazaki)
号： 41  ページ： 123-127  発行年： 2012年07月30日 
JST資料番号： G0471A  ISSN： 0540-4924  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 透明導電膜の材料として期待されているほか様々な分野で応用されている酸化亜鉛(ZnO)薄膜について,スピンコート法による成膜を論じた。ジエキトシエタンで希釈されたジエチル亜鉛を,スポイトで1500回/分回転のガラス基板上に落として成膜し,自然乾燥させ,500°Cで大気中で熱処理してZnO薄膜を作製した。Ar+H₂雰囲気中で,焼成時間を変化させて成膜した試料について,X線回折スペクトルにより結晶構造や配向性,格子定数などを検討した。また,積分球形検出器により測定した各焼成時間ごとの透過スペクトルを示し,考察した。さらに,四探針法で測定した各焼成時間ごとのシート抵抗の結果も示した。

シソーラス用語： *半導体薄膜 ,  *透明導電膜 ,  酸化亜鉛 ,  スピンコーティング ,  製膜 ,  配向 ,  スペクトル ,  焼成 ,  時間依存性 ,  シート抵抗
準シソーラス用語： 透過スペクトル ,  配向性

分類 (1件)： 固体デバイス材料  (NC03020K)

タイトルに関連する用語 (3件)： スピンコート ,  酸化亜鉛薄膜 ,  作製