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J-GLOBAL ID:201202285704899299   整理番号:12A1499663

Czochralski法によるサファイア結晶成長の間の溶融物対流および界面形状の研究

Study of melt convection and interface shape during sapphire crystal growth by Czochralski method
著者 (5件):
資料名:
巻: 55  号: 25-26  ページ: 8003-8009  発行年: 2012年12月 
JST資料番号: C0390A  ISSN: 0017-9310  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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高周波加熱Czochralski(Cz)プロセスによるサファイアの異なる成長段階の間の電磁場,熱伝達,溶融物流れおよび界面形状を予測するために全体的シミュレーションを実施した。Cz-サファイア成長系は自由表面での表面張力の変動によるマランゴニー対流,るつぼの壁上の複雑な熱的境界条件による自然対流,および結晶の回転強制対流を誘起する。結晶が長く成長すると,対流が溶融物流れ,温度分布および界面形状に及ぼす影響が溶融物の降下のために変化する,そしてそれは特性長さとしての溶融物高さを持つGrashof数(Gr)によって特徴付けられる。溶融物高さが低下するにつれて,自然対流が弱くなり,界面が平らになる。対流が結晶成長プロセスに及ぼす影響を系統的に試験するために,3つの無次元数Nσ,Gr/Re2およびNσ 2をさらに導入した。Nσは溶融物における浮力と比較した境界層における表面張力の影響を表す,Gr/Re2は粘度による対流速度に対する対流力の比である,そしてNσ 2は強制対流に対するマランゴニー流の相対的強度を表す。溶融物流れおよび熱伝達に及ぼすパラメーターの影響を調べた,そしてそれらと界面凹部との関係が得られた。溶融物の対流および界面形状の理解は安定なサファイア結晶成長にとって重要であるだけでなく,成長過程の正確なモデリングにとってもまた重要である。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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分類 (1件):
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酸化物の結晶成長 

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