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J-GLOBAL ID：201202285860908036   整理番号：12A1720458

アークイオンめっき法で析出したTiAlSiN/CrAlYN多層膜の耐酸化性と硬度

Oxidation resistance and hardness of TiAlSiN/CrAlYN multilayer films deposited by the arc ion plating method

著者 (4件)： MORI T. (Center for Sci. of Environment, Resources and Energy, Keio Univ., 3-14-1 Hiyoshi, Kohoku-ku, Yokohama 223-8522, JPN) ,  NOBORISAKA M. (Center for Sci. of Environment, Resources and Energy, Keio Univ., 3-14-1 Hiyoshi, Kohoku-ku, Yokohama 223-8522, JPN) ,  WATANABE T. (Kanagawa Industrial Technol. Center, 705-1 Shimo-imaizumi, Ebina 243-0435, JPN) ,  SUZUKI T. (Center for Sci. of Environment, Resources and Energy, Keio Univ., 3-14-1 Hiyoshi, Kohoku-ku, Yokohama 223-8522, JPN)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 213  ページ： 216-220  発行年： 2012年12月 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 多層のTiAlSiN/CrAlYN膜を様々な時間で,超硬合金,シリコンおよびSUS304基材の上に合成し,それらの耐酸化性と硬度を調査した。基材の回転速度を制御することによって,5.6nm~23.2nmの多層周期が得られた。X線回折像によると,TiAlSiN/CrAlYN多層膜は1000°Cで1hの焼鈍し後に窒化物構造を保持し,膜に金属酸化物を示すピークは全く観察されなかった。酸化ピークはグロー放電発光分析の深さプロファイル法で膜の表面の周囲に観察されただけであった。従来のマイクロビッカーズ硬度試験機でTiAlSiN/CrAlYN多層膜の硬度を測定した。得られた結果によると,硬度は多層周期に応じて変化した。すなわち,8.7nmの周期の膜は37.1GPaの最高の硬度を示した。これはTiAlSiN単層とCrAlYN単層の複合則に基づいて計算した値より高かった。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *イオンめっき ,  *耐酸化性 ,  *多層膜 ,  超硬合金 ,  オーステナイト系ステンレス鋼 ,  微小硬さ ,  *窒化物 ,  ケイ化物 ,  チタン化合物 ,  アルミニウム化合物 ,  イットリウム化合物 ,  切削工具 ,  *セラミック被覆 ,  蒸着膜 ,  クロム化合物 ,  ケイ素 ,  焼なまし ,  微細構造 ,  被覆工具
準シソーラス用語： SUS304 ,  *アークイオンプレーティング

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V)

タイトルに関連する用語 (5件)： アークイオンめっき ,  析出 ,  多層膜 ,  耐酸化性 ,  硬度