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J-GLOBAL ID：201202286561291991   整理番号：12A0312857

Feでドープした低温でCO敏感なナノ構造化WO₃薄膜

Low temperature CO sensitive nanostructured WO₃ thin films doped with Fe

著者 (5件)： AHSAN M. (School of Engineering Systems, Built Environment and Engineering, Queensland Univ. of Technol., 2 George Street ...) ,  TESFAMICHAEL T. (School of Engineering Systems, Built Environment and Engineering, Queensland Univ. of Technol., 2 George Street ...) ,  IONESCU M. (Australian Nuclear Sci. and Technol. Organization, New Illawara Road, Lucas Heights, NSW 2232, AUS) ,  BELL J. (School of Engineering Systems, Built Environment and Engineering, Queensland Univ. of Technol., 2 George Street ...) ,  MOTTA N. (School of Engineering Systems, Built Environment and Engineering, Queensland Univ. of Technol., 2 George Street ...)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 162  号： 1  ページ： 14-21  発行年： 2012年02月20日 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 低い動作温度でCOを検出するために,熱蒸着法によって,ナノ構造化酸化タングステン薄膜ベースのガスセンサを開発した。これら膜の微細構造やガスセンシング特性に及ぼすFeドーピングやアニーリング熱処理の影響について検討した。共蒸着とアニーリングによるWO₃中へのFeの取込みは空気中で400°Cで2h行った。AFM解析により,全てのフィルム中で約10-15nmのグレインサイズが明らかになった。GIXRD解析から,蒸着直後のフィルムは非晶質であり400°Cでのアニーリングにより結晶性が向上することが分った。RamanやXRD解析からは,Feが置換不純物としてWO₃マトリックス中に取込まれ,その結果,O-W-O結合と格子パラメータが短くなったことが分った。FeによるドーピングはWO₃薄膜のCOセンシング特性に対して大きく貢献した。150°Cという低い動作温度で,400°CアニーリングFeドープWO₃膜によって,COの種々の濃度(10-1000ppm)に対して良好な応答が得られた。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 真空蒸着 ,  ナノ構造 ,  *鉄 ,  *ドーピング ,  *一酸化炭素 ,  *酸化タングステン ,  *ガスセンサ ,  微細構造 ,  焼なまし ,  同時蒸着 ,  原子間力顕微鏡 ,  X線回折 ,  格子定数 ,  核間距離 ,  透過型電子顕微鏡 ,  酸化物 ,  薄膜 ,  温度 ,  Ramanスペクトル ,  Rutherford散乱分光法
準シソーラス用語： 酸化物薄膜 ,  動作温度

分類 (4件)： 分析機器  (CC02020S) ,  気体燃料の性質,組成,分析,試験  (YE02020U) ,  塩基,金属酸化物  (CD01030Z) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (6件)： Fe ,  ドープ ,  低温 ,  CO ,  ナノ構造 ,  薄膜