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J-GLOBAL ID：201202287258462747   整理番号：12A1758063

ガラス製マイクロ流路チップ表面への金薄膜抵抗温度センサの追加作製とその温度特性の評価

著者 (6件)： 村上直 (産業技術総合研) ,  村上直 (九州工大) ,  大瀧憲一郎 (産業技術総合研) ,  松本壮平 (産業技術総合研) ,  安達仁朗 (産業技術総合研) ,  井上朋也 (産業技術総合研)
資料名： センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM)  (センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文集(CD-ROM))
巻： 29th  ページ： ROMBUNNO.SP6-11  発行年： 2012年10月22日 
JST資料番号： X0768B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *温度センサ ,  *チャネル ,  流体素子 ,  フルイディクス ,  *薄膜抵抗器 ,  MEMS ,  特性 ,  温度依存性 ,  金属薄膜 ,  金 ,  *マイクロチャネル
準シソーラス用語： *マイクロ流路 ,  温度特性 ,  金薄膜

分類 (2件)： 流体式制御機器  (IC02030J) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： ガラス ,  マイクロ流路 ,  金薄膜 ,  温度センサ ,  作製 ,  温度特性 ,  評価