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J-GLOBAL ID：201202291035951760   整理番号：12A1727396

同軸プローブを備えた空間高分解能Kelvinプローブ力顕微鏡

High spatial resolution Kelvin probe force microscopy with coaxial probes

著者 (3件)： BROWN Keith A (Harvard Univ., MA, USA) ,  SATZINGER Kevin J (Truman State Univ., MO, USA) ,  WESTERVELT Robert M (Harvard Univ., MA, USA)
資料名： Nanotechnology  (Nanotechnology)
巻： 23  号： 11  ページ： 115703,1-6  発行年： 2012年03月23日 
JST資料番号： W0108A  ISSN： 0957-4484  CODEN： NNOTER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 原子間力顕微鏡(AFM)のプローブを応用して,カンチレバーと円錐形チップを伝導性シェルでシールドした同軸構造にすることによって,チップ-試料間の静電相互作用をチップ終端近傍の小さな領域に閉じ込めるようにしたプローブを開発した。そして,このプローブを取り付けたKelvinプローブフォース顕微鏡(KPFM)で,空間分解能などを調査した。プローブの挙動は,プローブ力の静電モデルと一致し,シールドを有しないプローブと比較して,空間分解能が向上することが分かった。さらに議論を重ねた結果,このようなシールド構造のプローブは,ほかの改良型静電気力顕微鏡にも適用できる可能性があることが分かった。

シソーラス用語： 空間分解能 ,  *プローブ ,  *力顕微鏡 ,  片持梁 ,  チップ ,  シェル
準シソーラス用語： 同軸プローブ ,  *Kelvinプローブ力顕微鏡 ,  同軸構造 ,  円錐形チップ ,  伝導性シェル

分類 (1件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B)

タイトルに関連する用語 (4件)： 同軸 ,  プローブ ,  高分解能 ,  Kelvinプローブ力顕微鏡