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J-GLOBAL ID：201202291247538668   整理番号：12A0215173

Cr-Ru硬被覆の酸化の研究

Oxidation study of Cr-Ru hard coatings

著者 (3件)： CHEN Yung-i ,  KUO Yu-chu ,  CHEN Sin-min
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 520  号： 6  ページ： 2066-2072  発行年： 2012年01月01日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Cr含有量が47から83at.%のCr-Ru合金被覆をケイ素基板上のTi中間層を用いて直流マグネトロンコスパッタリングによって400°Cにおいて堆積させた。300Wの全入力パワーでは,Crの入力パワーを増すとCr-Ru被覆中のCr含有量は直線的に増大した。柱状構造を持つ金属間化合物相Cr₂Ruは堆積させたままのCr₅₆Ru₄₄およびCr₆₅Ru₃₅と同定され,結果として硬度が15-16GPaにまで増大した。ガラス成形ダイ上の保護被覆としてのCr-Ru被覆の性能を評価するために50ppmのO₂-N₂雰囲気中600°Cにおいて焼きなまし処理を施した。Cr-Ru被覆中のCrの外方拡散と選択酸化のために,結晶構造,化学組成分布および表面硬度の変化が焼きなまし後に起こる。X線回折および透過型電子顕微鏡法(TEM)によって酸化物スケールが自由表面上に形成されるCr₂O₃から成ることを証明した。走査電子顕微鏡法とTEMによって表面の形態と構造の変化を観察した。化学組成の深さプロフィルはAuger電子顕微鏡で解析し,酸化物スケールの下にCrの空乏帯の存在を確かめた。Cr₅₆Ru₄₄およびCr₆₅Ru₃₅被覆の硬度は焼きなましの後で11-12GPaに減少し,Ru相によるCr₂Ru相の置換が伴う。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： ガラス成形 ,  金型 ,  *クロム合金 ,  クロム含有合金 ,  *ルテニウム合金 ,  ルテニウム含有合金 ,  *金属薄膜 ,  被覆 ,  基板 ,  ケイ素 ,  層 ,  チタン ,  *マグネトロンスパッタリング ,  金属間化合物 ,  硬度 ,  酸素 ,  窒素 ,  雰囲気 ,  焼なまし ,  X線回折 ,  電子顕微鏡観察 ,  化学組成 ,  深さプロフィル
準シソーラス用語： Auger電子 ,  Auger電子顕微鏡 ,  走査電子顕微鏡観察 ,  中間層 ,  透過型電子顕微鏡観察

分類 (1件)： 金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (4件)： Cr ,  Ru ,  酸化 ,  研究