文献

J-GLOBAL ID：201202291295866383   整理番号：12A1743545

可撓性高分子膜上に構成したモジュラ形磁界マイクロセンサの設計,製作,および試験

Design, Fabrication, and Testing of a Modular Magnetic Field Microsensor on a Flexible Polymer Foil

著者 (3件)： GRIESBACH Tim (Leibniz Univ. Hannover, Garbsen, DEU) ,  WURZ Marc Christopher (Leibniz Univ. Hannover, Garbsen, DEU) ,  RISSING Lutz (Leibniz Univ. Hannover, Garbsen, DEU)
資料名： IEEE Transactions on Magnetics  (IEEE Transactions on Magnetics)
巻： 48  号： 11  ページ： 3843-3846  発行年： 2012年11月 
JST資料番号： A0339B  ISSN： 0018-9464  CODEN： IEMGAQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 厚さ7μmの高分子膜を基板材料として用いた異方性磁気抵抗(AMR)マイクロ磁界センサを開発した。製作時には,ハンドリングのためにSiウエハを用い,Si基板上に7μm高分子膜をスピンコーティングによって堆積させる。Siウエハには,製作後の高分子膜の取外しを容易にするため,深い反応性イオンエッチング(DRIE)処理を施した。マイクロセンサの構成と製作方法について述べ,特性測定結果を示した。本構造と製作法により,Si基板上に生成した従来のマイクロ磁界センサと殆ど同等の特性を持つ可撓性センサが得られる。

シソーラス用語： 高分子薄膜 ,  モジュラ設計 ,  *磁気センサ ,  性能試験 ,  小型 ,  磁気抵抗 ,  磁気的性質
準シソーラス用語： 可撓性

分類 (1件)： 磁気の計測法・機器  (AD07060U)

タイトルに関連する用語 (7件)： 可撓性 ,  高分子膜 ,  磁界 ,  マイクロセンサ ,  設計 ,  製作 ,  試験