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J-GLOBAL ID：201202291442509133   整理番号：12A0809683

テンプレートとしてSb₂Te₃ナノワイヤを使用したシリカナノチューブの製作

Fabrication of silica nanotubes using Sb₂Te₃ nanowires as templates

著者 (5件)： KIM Byeong Geun (Dep. of Materials Sci. and Engineering, Yonsei Univ., Seoul 120-749, KOR) ,  JEONG Seong-min (Korea Inst. of Ceramic Engineering and Technol. (KICET), Seoul 153-801, KOR) ,  CHOI Soon-mok (Korea Inst. of Ceramic Engineering and Technol. (KICET), Seoul 153-801, KOR) ,  HYUN Sang-hoon (Dep. of Materials Sci. and Engineering, Yonsei Univ., Seoul 120-749, KOR) ,  LEE Hong-lim (Dep. of Materials Sci. and Engineering, Yonsei Univ., Seoul 120-749, KOR)
資料名： Materials Letters  (Materials Letters)
巻： 79  ページ： 81-84  発行年： 2012年07月15日 
JST資料番号： E0935A  ISSN： 0167-577X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： この研究ではテンプレートとしてナノワイヤを使用したシリカナノチューブの簡易な製作方法を紹介した。最初に,N₂ガス雰囲気中の300°CのアニーリングでAl:Ge:Sb:Te薄膜から無触媒でSb₂Te₃ナノワイヤのテンプレートを製作した。次に,DCマグネトロンスパッタリングを使用してこれらにSiを析出した。そして,500~800°Cで,N₂ガス雰囲気中でアニーリングした。アニーリング処理でコアのSb₂Te₃ナノワイヤが蒸発し,外側のSi壁が酸化して,非晶質シリカナノチューブが生産された。シリカナノチューブの寸法は,外形が~150nm,肉厚が30nmと測定された。シリカナノチューブに残っている微量元素の含有量はアニーリング条件(温度や保持時間)に依存した。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *ナノチューブ ,  *化学合成 ,  *アンチモン化合物 ,  *テルル化物 ,  *ナノワイヤ ,  型 ,  熱処理 ,  厚み ,  熱処理条件 ,  微量元素 ,  スパッタ蒸着 ,  マグネトロンスパッタリング ,  アルミニウム化合物 ,  ゲルマニウム化合物 ,  テルル化合物 ,  薄膜 ,  *二酸化ケイ素
準シソーラス用語： *シリカ ,  *テルル化アンチモン ,  テンプレート【型】 ,  *テンプレート合成 ,  肉厚

分類 (1件)： セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V)

タイトルに関連する用語 (3件)： テンプレート ,  ナノワイヤ ,  製作