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J-GLOBAL ID：201202291604752886   整理番号：12A0733265

走査プローブ顕微鏡のその場金属チップのシャープ化

In Situ Metal Tip Sharpening of Scanning Probe Microscopes

著者 (6件)： YANG Wenlong (Texas A&M Univ., Texas) ,  ZHANG Huiliang (Harvard Univ.) ,  KIM Changdong (Harvard Univ.) ,  BUTTA Nakul (Harvard Univ.) ,  LIANG Hong (Terex Corp.) ,  HEMMER Philip R. (Harvard Univ.)
資料名： Scanning  (Scanning)
巻： 34  号： 1  ページ： 76-79  発行年： 2012年01月 
JST資料番号： D0300B  ISSN： 0161-0457  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 走査プローブ顕微鏡では,走査系に金属チップが利用されているが,これは空間分解能などに大きく影響する。このために,金属チップのシャープ化が求められている。本論文では,金属チップを作製し,シャープ化するための新しいアプローチを提案した。レーザ光を利用して,金属チップを加熱し融解する。次に,チップに強い電場を印加して,シャープ化を実現した。低真空装置と高電圧源を利用した。25μmのインジウム被覆の白金ワイヤをシャープ化した。直径が50nm以下であった。チップ半径を1nm以下にできる可能性がある。

シソーラス用語： *走査型プローブ顕微鏡 ,  空間分解能 ,  インジウム ,  その場観察 ,  チップ ,  レーザ融解 ,  レーザ加熱 ,  電場効果 ,  被覆 ,  白金 ,  *金属線
準シソーラス用語： ワイヤ ,  先端 ,  *走査プローブ顕微鏡

分類 (1件)： 顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (1件)： 走査プローブ顕微鏡