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J-GLOBAL ID：201202291624530073   整理番号：12A1524585

電着ダイヤモンド状カーボン(DLC)薄膜の微細構造と光学的性質に及ぼすニッケルとりこみの効果

Effect of nickel incorporation on microstructural and optical properties of electrodeposited diamond like carbon (DLC) thin films

著者 (5件)： PANDEY B. (Dep. of Applied Physics, Indian School of Mines, Dhanbad 826004, IND) ,  PAL P.p. (Dep. of Applied Physics, Indian School of Mines, Dhanbad 826004, IND) ,  BERA S. (Dep. of Physics and Meteorology, Indian Inst. of Technol., Kharagpur 721302, IND) ,  RAY S.k. (Dep. of Physics and Meteorology, Indian Inst. of Technol., Kharagpur 721302, IND) ,  KAR A.k. (Dep. of Applied Physics, Indian School of Mines, Dhanbad 826004, IND)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 261  ページ： 789-799  発行年： 2012年11月15日 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 簡単な電着技術を用いてITO被膜ガラス基板上にダイヤモンド状カーボン(DLC)及びニッケルとりこみダイヤモンド状カーボン(Ni-DLC)薄膜を合成した。電解質中のニッケルの初期濃度はNi-DLC薄膜のすべての堆積に対して4.76×10^-4Mに保たれた。薄膜の成長プロセスを堆積時間を変えて薄膜を合成することによって研究した。DLCへのニッケル添加と共に,DLC及びNi-DLCのUV-可視-近赤外分光測光から評価されたバンドギャップとUrbachエネルギーはそれぞれ2.67eVから2.48eV,1.0803eVから1.452eVへと変化した。これらの結果は金属のとりこみはDLC薄膜のグラファイト化を有効に進めたことを示している。SEMとAFMによる微細構造研究はNi-DLC薄膜中の粒子は均等に分布し,粒子の充填密度は堆積時間の増加と共に増加化することを明らかにした。XRDパターンはアモルファスカーボンネットワーク中にNi-DLC薄膜におけるダイヤモンドとグラファイトの相の他にNi微結晶の存在を示している。FTIRスペクトルはCH₃結合とCH₂結合の両方として説明できるピークを示した。いくつかの新しいピークがNi-DLC薄膜の場合にのみ約776cm^-1,745cm^-1,668^-1に現れるので,ニッケルのとりこみはDLC薄膜のFTIRスペクトルを著しく変調していることは明白である。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *ダイヤモンド状炭素 ,  *DLC膜 ,  *黒鉛化 ,  *電着 ,  *ニッケル ,  *ドーピング ,  *光吸収スペクトル ,  *光学ギャップ ,  Urbach則 ,  赤外吸収スペクトル
準シソーラス用語： DLC薄膜 ,  グラファイト化 ,  FTIRスペクトル

分類 (3件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  炭素とその化合物  (YB02060D) ,  光物性一般  (BM08010A)

タイトルに関連する用語 (8件)： 電着 ,  ダイヤモンド状カーボン ,  DLC ,  薄膜 ,  微細構造 ,  光学的性質 ,  ニッケル ,  とりこみ