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J-GLOBAL ID：201202291655783913   整理番号：12A1219636

パラメータ変動によるSPMシステムの知的ファジーZiegler-Nicholsベースの制御装置設計

Intelligent Fuzzy Ziegler-Nichols-Based Controller Design of a SPM System with Parameters Variation

著者 (3件)： LIN Jium-Ming (Chung-Hua Univ., Hsin-Chu, TWN) ,  CHO Kun-Tai (Chung-Hua Univ., Hsin-Chu, TWN) ,  CHANG Po-Kuang (Chung-Hua Univ., Hsin-Chu, TWN)
資料名： Key Engineering Materials  (Key Engineering Materials)
巻： 516  ページ： 402-407  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0744C  ISSN： 1013-9826  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では接触力制御走査プローブ顕微鏡(SPM)システムの以前の設計と同様に,天秤とレバーアームのないスタイラスプローブを適用した。制御装置は,Ziegler-Nicholsベースと知的ファジー法を統合したので,システムの相対的安定性を,規準状態で用意できた。更に,力アクチュエーターのヒステリシスとパラメータ変動の影響を減らせることがわかった。提案した方法と従来のZiegler-Nicholsに基づくPIとPID制御装置との比較も,MATLABシミュレーションにより行った。例えば,定常状態誤差とヒステリシスの影響を生成することなく,Ziegler-Nicholsに基づく知的ファジーPIとPID制御装置により得られたシステムのロバスト性能は,非常に良いことがわかった。

シソーラス用語： *走査型プローブ顕微鏡 ,  *ファジィコントローラ ,  針 ,  アクチュエータ ,  ヒステリシス ,  フィードバック制御 ,  ロバスト性 ,  差動変圧器 ,  力 ,  変動 ,  エキスパートシステム ,  ロードセル ,  力制御 ,  マイクロプローブ ,  プローブ
準シソーラス用語： LVDT【変圧器】 ,  PID制御 ,  PI制御 ,  *SPM【顕微鏡】 ,  *インテリジェント制御 ,  コンタクトプローブ ,  スタイラス ,  タッチプローブ ,  パラメータ変動 ,  ファジィ・エキスパート・システム ,  接触プローブ ,  接触力

分類 (2件)： 切削一般  (QC02010V) ,  人工知能  (JE08000Z)

タイトルに関連する用語 (4件)： パラメータ変動 ,  SPM ,  ファジー ,  設計