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J-GLOBAL ID:201202291686562265   整理番号:12A0942703

赤外用光学フィルターの作製のための理論的検討とAD成膜および光学的評価

著者 (5件):
資料名:
巻: 95th  ページ: 49-50  発行年: 2012年06月18日 
JST資料番号: X0417A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (1件):
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酸化物薄膜 
引用文献 (2件):
  • 明渡純監修. エアロゾルデポジション法の基礎から応用まで-常温衝撃固化現象による新規セラミックスコーティング技術のすべて-. 2008
  • 産業技術総合研究所. PVD・CVDデータベース

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