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J-GLOBAL ID：201202292306338623   整理番号：12A1218821

低原価マイクロレンズアレイを利用した材料表面のレーザベース微細構造化

Laser-based microstructuring of materials surfaces using low-cost microlens arrays

著者 (9件)： NIETO Daniel (Parque Tecnologico de San Sebastian, Donostia-San Sebastian, ESP) ,  NIETO Daniel (National Univ. Ireland, Galway, IRL) ,  NIETO Daniel (Univ. Santiago de Compostela) ,  VARA G. (Parque Tecnologico de San Sebastian, Donostia-San Sebastian, ESP) ,  DIEZ J. A. (Parque Tecnologico de San Sebastian, Donostia-San Sebastian, ESP) ,  O’CONNOR Gerard M. (National Univ. Ireland, Galway, IRL) ,  ARINES Justo (Univ. Santiago de Compostela) ,  GOMEZ-REINO C. (Univ. Santiago de Compostela) ,  FLORES-ARIAS M. (Univ. Santiago de Compostela)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 8248  ページ： 82480K.1-82480K.9  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 新しい製品の開発では,微細構造素子での摩擦相互作用が問題になっている。摩擦相互作用を低減するために,材料表面の微細構造化が必要となる。本論文では,レーザを利用して,材料表面を微細加工する技術について検討した。ミクロパターン形成のために,低原価マイクロレンズアレイを利用することを提案した。低原価赤外レーザのレーザ直接描画技術を利用して,ソーダ石灰ガラスにマイクロレンズを製作した。レーザ直接描画と熱処理により,高品質な素子を実現した。この結果,マイクロレンズアレイを利用して,表面をマイクロパターニングすることで,同一構造を多数製作できるようになった。ステンレス鋼,高分子,陶製で同一構造を製作できた。赤外線,緑,UVで動作しているナノ秒レーザも利用された。トポグラフィーと形態を測定した。

シソーラス用語： アレイ ,  *パターン形成 ,  ソーダ石灰ガラス ,  *レーザリソグラフィー ,  トポグラフィー【形態】 ,  赤外レーザ ,  微細構造 ,  相互作用 ,  *マイクロレンズ ,  *微細加工 ,  原価低減 ,  表面加工 ,  表面性状
準シソーラス用語： マイクロパターニング ,  *マイクロレンズアレイ ,  ミクロパターン形成 ,  レーザ直接描画

分類 (2件)： 光デバイス一般  (BD06010L) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 原価 ,  マイクロレンズアレイ ,  レーザ ,  微細構造