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J-GLOBAL ID：201202292348737129   整理番号：12A0372896

ゾル-ゲル法による高キュリー温度xBiZn_1/2Ti_1/2O₃-(1-x)PbTiO₃圧電膜の作製と性質

Fabrication and Properties of High Curie Temperature xBiZn_1/2Ti_1/2O₃-(1-x) PbTiO₃ Piezoelectric Films by a Sol-Gel Process

著者 (4件)： ZHONG Caifu (Tsinghua Univ., Beijing, CHN) ,  GUO Limin (Tsinghua Univ., Beijing, CHN) ,  WANG Xiaohui (Tsinghua Univ., Beijing, CHN) ,  LI Longtu (Tsinghua Univ., Beijing, CHN)
資料名： Journal of the American Ceramic Society  (Journal of the American Ceramic Society)
巻： 95  号： 2  ページ： 473-475  発行年： 2012年02月 
JST資料番号： C0253A  ISSN： 0002-7820  CODEN： JACTAW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： xBiZn_1/2Ti_1/2O₃-(1-x)PbTiO₃(x=0.1~0.3)(BZT-PT)を作製し,構造と電気特性を調べた。Pt(111)/Ti/SiO₂/Si(111)基板にPbOシード層をスピンコート後,BZT-PT層をコーティングした。X線回折から高度に(111)配向した厚さ600nmの膜が得られた。膜はち密で均一な微細構造を示し,平均粒径は50nmであった。膜の残留分極はx=0.1,0.2及び0.3に対して各々28,20及び15μC/cm²であった。BZT量の増加で結晶異方性が増加し,より大きな分極が期待されたが,残留分極は減少した。理由は不明だが,微細な粒径又は基板からの機械的歪みが影響したと考えられる。室温誘電率はx=0.1,0.2及び0.3に対して各々656,640及び596で,室温誘電損失は0.06以下であった。キュリー温度はxと共に490°Cから600°Cへ増加した。

シソーラス用語： *チタン酸塩 ,  ビスマス化合物 ,  亜鉛化合物 ,  *チタン酸鉛 ,  *ゾル-ゲル法 ,  鉛化合物 ,  カルボン酸塩 ,  脂肪族カルボン酸 ,  チタン化合物 ,  アルコラート ,  硝酸塩 ,  脂肪族アルコール ,  基板 ,  白金 ,  チタン ,  酸化ケイ素 ,  ケイ素 ,  スピンコーティング ,  残留分極 ,  微細構造 ,  粒径 ,  *誘電率 ,  誘電損失 ,  *Curie温度 ,  圧電材料 ,  薄膜 ,  熱分解 ,  エーテル ,  脂肪酸
準シソーラス用語： *BZT【セラミック】 ,  *PT【セラミック】 ,  *圧電薄膜 ,  硝酸ビスマス ,  酢酸塩

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  圧電気,焦電気,エレクトレット  (BM05040M)

物質索引 (4件)： 2-メトキシエタノール ,  テトラブトキシチタン(IV) ,  酢酸亜鉛 ,  酢酸鉛

タイトルに関連する用語 (5件)： ゾル-ゲル法 ,  キュリー温度 ,  圧電膜 ,  作製 ,  性質