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J-GLOBAL ID：201202292701273557   整理番号：12A0138798

バイオセンサ応用の薄膜電気音響技術における最近の開発

Recent developments in thin film electro-acoustic technology for biosensor applications

著者 (2件)： KATARDJIEV I. (Dep. of Solid State Electronics, Uppsala Univ., Box 534, S-75121 Uppsala, SWE) ,  YANTCHEV V. (Dep. of Solid State Electronics, Uppsala Univ., Box 534, S-75121 Uppsala, SWE)
資料名： Vacuum  (Vacuum)
巻： 86  号： 5  ページ： 520-531  発行年： 2012年01月05日 
JST資料番号： E0347A  ISSN： 0042-207X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本報では,バイオセンサ応用の薄膜電気音響(TEA)技術の,バイオセンサ応用の微小音響トランシジューサの設計と作製を考慮して,最近の開発について展望する。TEA技術の使用は,トランシジューサの微小化,ICとの両立性,多重化可能性,製造コスト削減,消費財削減,大量生産,等々をもたらす。焦点は,電気音響トランシジューサの設計,作製,及び電気音響挙動並びに究極的質量と粘度の解像度により判断した液体媒体中の変換子特性評価に合わせた。この解析は,厚み方向に励起された準剪断薄膜バルク音響共振器技術が,その開発の性能と成熟レベルにおいて他の代替技術に対して遥かに進んでいるという結論を導いた。従って,準剪断薄膜バルク音響共振器(FBAR)技術が,膜合成及び作製から特性評価と実証までにわたり詳しくレビューされる。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *バイオセンサ ,  電気音響 ,  多重化 ,  *音響変換器 ,  *音響共振器 ,  レビュー ,  酸化亜鉛 ,  窒化アルミニウム ,  化合物半導体 ,  半導体薄膜 ,  圧電気 ,  MEMS ,  原価低減
準シソーラス用語： *薄膜バルク音響共振器

分類 (2件)： 分析機器  (CC02020S) ,  音響変換器,その他の機器  (BB03060N)

タイトルに関連する用語 (5件)： バイオセンサ ,  応用 ,  薄膜 ,  電気音響 ,  開発