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J-GLOBAL ID：201202293001372976   整理番号：12A0583366

超高真空中に走査型プローブを適用した小型アクティブ減衰ステージ

Miniature active damping stage for scanning probe applications in ultra high vacuum

著者 (7件)： ASSIG Maximilian (Max-Planck-Institut fuer Festkoerperforschung, 70569 Stuttgart, DEU) ,  KOCH Andreas (Max-Planck-Institut fuer Festkoerperforschung, 70569 Stuttgart, DEU) ,  STIEPANY Wolfgang (Max-Planck-Institut fuer Festkoerperforschung, 70569 Stuttgart, DEU) ,  STRASSER Carola (Max-Planck-Institut fuer Festkoerperforschung, 70569 Stuttgart, DEU) ,  AST Alexandra (Inst. fuer Technische und Numerische Mechanik, Universitaet Stuttgart, 70569 Stuttgart, DEU) ,  KERN Klaus (Max-Planck-Institut fuer Festkoerperforschung, 70569 Stuttgart, DEU) ,  AST Christian R. (Max-Planck-Institut fuer Festkoerperforschung, 70569 Stuttgart, DEU)
資料名： Review of Scientific Instruments  (Review of Scientific Instruments)
巻： 83  号： 3  ページ： 033701-033701-6  発行年： 2012年03月 
JST資料番号： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 走査型プローブ顕微鏡(SPM)実験では,測定信号に及ぼす外的影響を最小限度に抑えるために,低振動なレベルを必要としている。本論文では,できるだけSPMに近接して超高真空中で位置決めするGough-Stewartプラットホーム(hexapod)に基づいた,六次の自由度のある小型アクティブ減衰ステージを提示する。本方法により,実験設定から起こる振動を効果的に減少させることができ,SPM実験に対して平穏な環境を提供することができる。さらに,hexapodは厳格な基準点を提供し,配線および試料移動を促進させた。主な動作原理の要点を述べ,Si(111)7×7表面の走査型トンネル顕微鏡法(STM)測定に対して,hexapodが凹凸像の安定性と品質を著しく向上させることが明らかになった。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 走査型プローブ顕微鏡 ,  *台 ,  ケイ素 ,  半導体 ,  *走査型トンネル顕微鏡 ,  *超高真空 ,  原理
準シソーラス用語： *防振台 ,  動作原理

分類 (1件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B)

タイトルに関連する用語 (5件)： 高真空 ,  走査型 ,  プローブ ,  減衰 ,  ステージ