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J-GLOBAL ID：201202293076897594   整理番号：12A0424516

単一チャンネル自己混合干渉計による厚さと屈折率の同時測定

Simultaneous measurement of thickness and refractive index by a single-channel self-mixing interferometer

著者 (2件)： FATHI M. T. (Univ. Pavia, Pavia, ITA) ,  DONATI S. (Univ. Pavia, Pavia, ITA)
資料名： IET Optoelectronics  (IET Optoelectronics)
巻： 6  号： 1  ページ： 7-12  発行年： 2012年02月 
JST資料番号： B0058E  ISSN： 1751-8768  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 既に筆者等は2チャンネル干渉計(SMI)による透明スラブの厚さdと屈折率nの同時測定について報告したが,本稿では単一チャンネルSMIによる新しい同時測定を紹介した。理論的解析の結果,レーザ反射波との光学位相差変動と簡単な反復法により高精度な同時測定が可能であり,サンプルの内部屈折角θ,回転角α,レーザ伝播波数kとすると,レーザの位相差はΔψ=ψ(α)-ψ(0)=2kd(ncosθ-cosα)となる。数回の測定反復ではd及びnの測定精度は各々1%,0.02(rms)であった。

シソーラス用語： *厚み測定 ,  *屈折分析 ,  *同時計測 ,  *干渉計 ,  逐次近似 ,  反射波

分類 (1件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G)

タイトルに関連する用語 (5件)： チャンネル ,  自己 ,  干渉計 ,  屈折率 ,  同時測定