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J-GLOBAL ID：201202293264313044   整理番号：12A1065127

走査電子顕微鏡の視覚追跡法の改良

An Improved Visual Tracking Method in Scanning Electron Microscope

著者 (5件)： RU Changhai (Harbin Engineering Univ., Harbin, CHN) ,  RU Changhai (Soochow Univ., Jiangsu, CHN) ,  ZHANG Yong (Univ. Toronto, Ontario, CAN) ,  HUANG Haibo (Soochow Univ., Jiangsu, CHN) ,  CHEN Tao (Soochow Univ., Jiangsu, CHN)
資料名： Microscopy and Microanalysis  (Microscopy and Microanalysis)
巻： 18  号： 3  ページ： 612-620  発行年： 2012年06月 
JST資料番号： W1587A  ISSN： 1431-9276  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： より精密な追跡操作と測定を可能とするSEMの視覚サーボ応用へのロバストで有効な追跡フレームワークを示した。SEMの輪郭モデルに基づくサブピクセルテンプレートマッチングをナノマニピュレーション過程の付加ノイズとクラッタに対する追跡精度とロバストネスを改善するために開発した。フィードフォワードコントローラによる視覚サーボ制御システムはフィードフォワードコントローラフリーシナリオとの比較で応答時間の大きな改善を示す多重ナノマニプレータの閉ループ制御に対して統合した。実験結果から,サブピクセル追跡精度が実現されることを証明した。クラッタに対するロバストネスは困難な追跡環境でも達成できた。

シソーラス用語： *走査電子顕微鏡 ,  サーボ制御 ,  フィードバック制御 ,  クラッタ ,  ロバスト性 ,  輪郭 ,  パターンマッチング ,  フィードフォワード制御
準シソーラス用語： サブピクセル ,  テンプレートマッチング ,  *ナノマニピュレーション ,  *ビジュアルサーボ ,  視覚サーボ制御 ,  *視覚追跡

分類 (1件)： 顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (2件)： 走査電子顕微鏡 ,  視覚追跡