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J-GLOBAL ID：201202293459803933   整理番号：12A1391210

ダイヤモンド核形成中心の原料としてノルマルパラフィンを用いるダイヤモンド薄膜蒸着

Thin film deposition of diamond using normal paraffins as source of diamond nucleation centers

著者 (2件)： ERSHOVA A. (Nano-Technology Lab., Triangle Inc., 01079, UKR) ,  EIZENBRAUN A. (Nano-Technology Lab., Triangle Inc., 01079, UKR)
資料名： Materials Research Bulletin  (Materials Research Bulletin)
巻： 47  号： 11  ページ： 3681-3690  発行年： 2012年11月 
JST資料番号： B0954A  ISSN： 0025-5408  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ダイヤモンド核形成中心の原料としてノルマルパラフィン(nP)を用いるダイヤモンド薄膜(DTF)蒸着のためのプロセスを提案した。ホットフィラメントCVD(HFCVD)および不動態Pt/Pd表面触媒作用(PPt/PdSC)法を用いてCu基板にミクロ結晶ダイヤモンド薄膜(MCDTF)を蒸着した。蜜蝋ならびに一般式CH₃(CH₂)_nCH₃(n=22および26)のノルマルパラフィンの1:1混合物をnP出発原料として試験した。得られた膜を走査型電子顕微鏡法(SEM),Raman散乱温度依存性分光法およびX線回折(XRD)の諸方法によってキャラクタリゼーションした。蒸着した材料がMCDTFであることがすべての方法によって確認された。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *薄膜 ,  核形成 ,  アルカン ,  蜜蝋 ,  *微結晶 ,  化学蒸着 ,  白金触媒 ,  パラジウム触媒
準シソーラス用語： *ダイヤモンド薄膜 ,  n-アルカン ,  ミクロ結晶 ,  ホットフィラメントCVD

分類 (3件)： 不均一系触媒反応  (CB06100E) ,  固-気界面一般  (CB12041H) ,  無機化合物一般及び元素  (CD01010D)

物質索引 (2件)： n-ドコサン ,  n-ヘキサコサン

タイトルに関連する用語 (5件)： ダイヤモンド ,  核形成 ,  原料 ,  ノルマルパラフィン ,  薄膜蒸着