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J-GLOBAL ID：201202294348526651   整理番号：12A1215992

超高速過渡ホットストリップ法による薄膜と被膜の熱伝導率測定

Measuring thermal conductivity of thin films and coatings with the ultra-fast transient hot-strip technique

著者 (5件)： BELKERK B E (Univ. Nantes, Nantes, FRA) ,  SOUSSOU M A (Univ. Nantes, Nantes, FRA) ,  CARETTE M (Univ. Nantes, Nantes, FRA) ,  DJOUADI M A (Univ. Nantes, Nantes, FRA) ,  SCUDELLER Y (Univ. Nantes, Nantes, FRA)
資料名： Journal of Physics. D. Applied Physics  (Journal of Physics. D. Applied Physics)
巻： 45  号： 29  ページ： 295303,1-11  発行年： 2012年07月25日 
JST資料番号： B0092B  ISSN： 0022-3727  CODEN： JPAPBE  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 厚みが10nm~数十μmの誘電体薄膜と被膜の熱伝導率を精密に測定した。試料膜上にパターン形成した金属化マイクロストリップ(20μm×200μm)に電気パルスを印加し,温度上昇を100ns~10μsの時間内に解析した。三次元熱拡散モデルから導いた試料の時間依存する熱インピーダンスから膜の熱伝導率を導いた。実験は塊状Siと非晶質SiO₂及び窒化アルミニウム結晶を用いて行った。本方法により,10^-8Km²W^-1の低い熱伝導率を約10%の精度で測定できた。

シソーラス用語： *誘電体薄膜 ,  *熱伝導率 ,  熱拡散 ,  ケイ素 ,  二酸化ケイ素 ,  窒化アルミニウム ,  半導体材料 ,  インピーダンス
準シソーラス用語： 熱インピーダンス

分類 (1件)： 非金属のその他の熱的性質  (BL05040J)

タイトルに関連する用語 (3件)： 薄膜 ,  被膜 ,  熱伝導率測定