抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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内径0.2mmの微細管内面精密研磨実現のため,微細管内部に磁性砥粒と水溶性研磨液の混合磁性砥粒を供給し,外部磁極から磁場を発生し,内部の混合磁性砥粒を微細管内面に磁気吸引させる。この状態で微細管を高速回転させ,混合磁性砥粒と微細管内面間に相対運動を発生し,内面を精密研磨する。磁場発生源にはNd-Fe-Bレアアース永久磁石を用いた。工作物円管内面を光干渉式表面粗さ計で精密測定した。球状磁性粒子とペースト状ダイヤモンド砥粒を用いても,内径0.2mmで軸方向長さが長いと磁極端部で詰まり,加工不能に至ったので,エッジ効果の現れない磁極寸法形状を製作した。磁性砥粒の加工力不足解決のため,新磁極形状と永久磁石・ヨークで構成される磁気回路を提案した。ヨークにはNd-Fe-Bレアアース永久磁石を2個挿入した。1度に連続して4分間加工すると表面が焼き付いた。2分間ごとに加工を中断し,加工液を供給して再開する方法で実験した。内径0.2mmのSUS304ステンレス鋼管を平均粒径3μmのダイヤモンドペーストと粒径106-150μmのガスアトマイズ球状鉄粉で30分間加工後,3.13μmRtから0.88μmRtまで平滑化できた。未加工面表面粗さ値2.8μmRtの内径0.2mmのSUS304ステンレス鋼細管を粒径2-4μmのダイヤモンドペーストで,粒径106-150μmのガスアトマイズ鉄粉供給量を変えて研磨実験を行った。20分加工後,鉄粉供給量0.16mgの場合が最も平滑化され,0.70μmRtまで向上した。鉄粉供給量0.16mgの場合が最も多く加工痕が積み重なり,未加工面凹凸の高い部分がほとんど観察されず,鉄粉径が最適であった。