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J-GLOBAL ID：201202294440505792   整理番号：12A0311482

距離測定干渉計のための干渉縞検出システム

Interference fringe detection system for distance measuring interferometer

著者 (2件)： DOBOSZ Marek (Inst. of Metrology and Biomedical Engineering, Fac. of Mechatronics, Warsaw Univ. of Technol., Sw. A. Boboli 8 St. ...) ,  ZAMIELA Grzegorz (Inst. of Metrology and Biomedical Engineering, Fac. of Mechatronics, Warsaw Univ. of Technol., Sw. A. Boboli 8 St. ...)
資料名： Optics & Laser Technology  (Optics & Laser Technology)
巻： 44  号： 5  ページ： 1620-1628  発行年： 2012年07月 
JST資料番号： D0245B  ISSN： 0030-3992  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 干渉縞計数法によるホモダイン距離測定干渉計のための新しい光検出システムを開発した。このシステムは小型サイズ集積光検出器に基づいた。固定,有限周期の干渉縞パターンを利用した。新しい信号処理法で13-エレメント集積フォトダイオードを調整し,干渉縞の移動を受信した。レンズを付加して,干渉縞周期をフォトエレメント距離に調節した。付加レンズとフォトエレメント信号処理配置を開発し,干渉光の角度ミスアラインメントで誘起された干渉縞の周期誤差に対する感度を減らした。システム測定の実現性に関する理論解析と実験検証を示した。最後に,標準と新検出システムの事例で性能を比較した。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *干渉計 ,  *距離測定 ,  干渉縞 ,  フォトダイオード ,  アラインメント ,  信号処理 ,  モードパターン ,  光検出器 ,  *光ホモダイン法
準シソーラス用語： 検出システム ,  理論解析

分類 (2件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (4件)： 距離測定 ,  干渉計 ,  干渉縞 ,  検出システム