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J-GLOBAL ID:201202294492423026   整理番号:12A1112011

表面下センシングに対して走査型スリットプローブを用いた60GHz近傍場6ポート顕微鏡

60-GHz Near-Field Six-Port Microscope Using a Scanning Slit Probe for Subsurface Sensing
著者 (2件):
資料名:
巻: 12  号: 7-8  ページ: 2575-2576  発行年: 2012年07月 
JST資料番号: W1318A  ISSN: 1530-437X  CODEN: ISJEAZ  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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ミリ波非破壊表面下検出に対して走査型スリットプローブ(SP)を用いた近傍場6点顕微鏡を開発した。このシステムは,60GHz信号源,6ポートアナライザ,データ処理系,位置制御系,試料を置くxyzステージ,及びSPから成る。6点反射率計とSPの組合せを用いて高価なヘテロダイン法を代替した。このシステムは小型で頑健かつ安価である。空間分解能を実測し,性能を確認した。
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分類 (1件):
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電磁気学一般 

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