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J-GLOBAL ID：201202294574005206   整理番号：12A1547802

活動時間変化を持つ時間制約のある単一アームクラスターツールのPetriネットに基づく実時間スケジューリング

Petri Net-Based Real-Time Scheduling of Time-Constrained Single-Arm Cluster Tools with Activity Time Variation

著者 (4件)： QIAO Yan (Guangdong Univ. Technol., Guangzhou, CHN) ,  WU NaiQi (Guangdong Univ. Technol., Guangzhou, CHN) ,  ZHOU MengChu (Tongji Univ., Shanghai, CHN) ,  ZHOU MengChu (New Jersey Inst. Technol., NJ, USA)
資料名： Proceedings. IEEE International Conference on Robotics and Automation  (Proceedings. IEEE International Conference on Robotics and Automation)
巻： 2012 Vol.7  ページ： 5056-5061  発行年： 2012年 
JST資料番号： T0044A  ISSN： 1050-4729  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 半導体製造においてはクラスタツールの使用が増えている。これらは幾つかのプロセスモジュール(PM),アライナー,ウエハ操作ロボット,ロードロック装置などで構成されている。本稿では,ウエハ滞留時間制約と限られた活動時間変化を持つ単一アームクラスターツールの実時間スケジューリング問題について報告した。それぞれのPetriネットモデルの助けを借りて,実時間制御ポリシーを使って活動時間変化を相殺した。スケジューリング条件を解析式によりチェックした。もしそれらが満足すれば解析式を使ってオフラインスケジュールを見つけることができる。このスケジューリングアルゴリズムと実時間制御ポリシーにより得たスケジュールにより実時間スケジュールを決める。これはサイクルタイムに関して最適である。

シソーラス用語： 超小形回路技術 ,  *半導体プロセス ,  *Petriネット ,  計算機アルゴリズム ,  *スケジューリング ,  ウエハ【IC】 ,  滞留時間 ,  時間
準シソーラス用語： クラスタツール ,  サイクルタイム ,  スケジューリングアルゴリズム ,  活動時間

分類 (2件)： 工程管理  (KB03030P) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 活動時間 ,  制約 ,  クラスターツール ,  Petriネット ,  実時間スケジューリング