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J-GLOBAL ID：201202294751934425   整理番号：12A1520636

行スループット実験用ツールとしての微小グラジエントヒーター

Microgradient-Heaters As Tools for High-Throughput Experimentation

著者 (9件)： MEYER Robert (Ruhr-Univ. Bochum, Bochum, DEU) ,  HAMANN Sven (Ruhr-Univ. Bochum, Bochum, DEU) ,  EHMANN Michael (Ruhr-Univ. Bochum, Bochum, DEU) ,  THIENHAUS Sigurd (Ruhr-Univ. Bochum, Bochum, DEU) ,  JAEGER Stefanie (Ruhr-Univ. Bochum, Bochum, DEU) ,  THIEDE Tobias (Ruhr-Univ. Bochum, Bochum, DEU) ,  DEVI Anjana (Ruhr-Univ. Bochum, Bochum, DEU) ,  FISCHER Roland A. (Ruhr-Univ. Bochum, Bochum, DEU) ,  LUDWIG Alfred (Ruhr-Univ. Bochum, Bochum, DEU)
資料名： ACS Combinatorial Science  (ACS Combinatorial Science)
巻： 14  号： 10  ページ： 531-536  発行年： 2012年10月 
JST資料番号： W1756A  ISSN： 2156-8952  CODEN： ACSCCC  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 微小グラジエントヒーターを作成し,CVDに適用してその効果を検証した。1μm厚,幅600μmの長方形SiO₂/Si₃N₄チップをSiフレームに固定し,中央に白金ヒーターを設置した。このシステムにより965μmの距離で505°C(0.52K/μm)の温度勾配を達成できた。CVDによるTiO₂薄膜調製に応用して原理の実証を行い,ヒーターからの距離に応じたTiO₂膜のモルホロジー変化を観測した。高スループット実験への応用の可能性を示唆した。

シソーラス用語： 実験装置 ,  *加熱器 ,  *温度勾配 ,  小型化 ,  酸化ケイ素 ,  窒化ケイ素 ,  薄膜 ,  微量分析 ,  スループット ,  化学蒸着

分類 (1件)： 実験操作・装置(化学一般)  (CA02000Q)

タイトルに関連する用語 (6件)： スループット ,  実験 ,  ツール ,  微小 ,  グラジエント ,  ヒーター