ZnO薄膜の構造的及び光学的性質に及ぼす酸素/アルゴン比とアニーリングの効果

ZHOU Bing; ZHOU Bing; ROGACHEV Aleksandr V.; LIU Zhubo; PILIPTSOU Dzmitry G.; JI Hongjun; JIANG Xiaohong

文献

J-GLOBAL ID：201202294753023985 整理番号：12A0593561

ZnO薄膜の構造的及び光学的性質に及ぼす酸素/アルゴン比とアニーリングの効果

Effects of oxygen/argon ratio and annealing on structural and optical properties of ZnO thin films

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資料名：
巻： 258 号： 15 ページ： 5759-5764 発行年： 2012年05月15日
JST資料番号： B0707B ISSN： 0169-4332 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

酸化亜鉛(ZnO)薄膜を石英基板上に高周波マグネトロンスパッタリングを用いて異なる酸素/アルゴン(O₂/Ar)流比で作製した。ZnO薄膜の構造的及び光学的性質のO₂/Ar比とアニール温度への依存性を走査電顕(SEM),X線光電子分光(XPS),Raman散乱分光,UV-可視分光,光励起発光(PL)分光によって研究した。XPSスペクトルはO1sとZn2pのピーク位置がO₂/Ar流比の増加と共に結合エネルギーの反対方向にシフトし,堆積したZnO薄膜はZnリッチからOリッチに変わることを示した。RamanスペクトルはZnO薄膜は420°Cでのアニール後に高結晶品質でc軸優先配向のウルツ鉱構造からなることを示した。堆積薄膜の透過率とエネルギーバンドギャップ(E_g)はO₂/Ar流比の増加と共に増加した。薄膜がアニールされる時,E_gはアニール温度と共にはじめ減少し,その後増加した。PLスペクトからはすべての薄膜が紫外発光ピークを示し,O₂/Ar=35/35で作製されたZnO薄膜は追加の緑色発光を示すことがわかった。両方の発光とO₂/Ar流比とアニール温度による強度変化の起源を考察した。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

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酸化物薄膜 , 光物性一般 , 半導体のルミネセンス

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