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J-GLOBAL ID：201202294847634902   整理番号：12A1731456

SF₆でエッチしたシリコンナノ結晶の大気中での光安定性

Environmental photostability of SF₆-etched silicon nanocrystals

著者 (5件)： LIPTAK R W (Univ. Minnesota, MN, USA) ,  YANG J (Univ. Minnesota, MN, USA) ,  KRAMER N J (Univ. Minnesota, MN, USA) ,  KORTSHAGEN U (Univ. Minnesota, MN, USA) ,  CAMPBELL S A (Univ. Minnesota, MN, USA)
資料名： Nanotechnology  (Nanotechnology)
巻： 23  号： 39  ページ： 395205,1-7  発行年： 2012年10月05日 
JST資料番号： W0108A  ISSN： 0957-4484  CODEN： NNOTER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： シリコンナノ結晶(SiNC)の光ルミネセンス(PL)の長時間安定性を調べた。二段階プラズマ反応炉の中で六フッ化硫黄(SF₆)を用いてエッチングを行い,大気中でのUV照射に対するPLの安定性を調べた。水素不動態化を行った場合に比べ,SF₆でエッチしたSiNCでは,表面酸化が生じたものの,長時間UV照射に対して光脱色を示さなかった。さらに,160°Cまで加熱してもPLの量子収量は安定であった。PLの量子収量が最大50%で,熱的およびUVに対する安定性を有するSF₆でエッチしたSiNCは,太陽電池の効率を増強させるためのUVダウンシフテイングに対して,魅力的な候補であることを記した。電子スピン共鳴実験を行ったところ,作製したままの状態および室温大気中で酸化後の状態において,欠陥の状態密度が小さいという結果を得た。

シソーラス用語： *ナノ結晶 ,  *ケイ素 ,  *安定性 ,  エッチング ,  フッ化硫黄 ,  *光ルミネセンス ,  発光スペクトル ,  スペクトル線強度 ,  紫外線照射 ,  不動態化 ,  太陽電池 ,  周波数逓降 ,  ESR【磁気共鳴】 ,  量子収量 ,  プラズマ装置 ,  反応器 ,  温度依存性
準シソーラス用語： プラズマ反応炉 ,  *光安定性

分類 (2件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  半導体のルミネセンス  (BM08092S)

タイトルに関連する用語 (5件)： SF6 ,  エッチ ,  シリコンナノ結晶 ,  大気中 ,  光安定性