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J-GLOBAL ID：201202294902872990   整理番号：12A1019724

選択領域イオン注入と熱酸化によるミリメータ長ZnOナノ粒子集合体マイクロストリップ構造の形成

Microstrip structures of ZnO nanoparticle aggregates of millimetric length formed by selected-area ion implantation and thermal oxidation

著者 (7件)： AMEKURA H (Nat. Inst. for Mater. Sci., Tsukuba) ,  WANG H-S (Nat. Inst. for Mater. Sci., Tsukuba) ,  HISHITA S (Nat. Inst. for Mater. Sci., Tsukuba) ,  PAN J (Nat. Inst. for Mater. Sci., Tsukuba) ,  KISHIMOTO N (Nat. Inst. for Mater. Sci., Tsukuba) ,  BUCHAL Ch (Forschungszentrum Julich GmbH, Juelich) ,  MANTL S (Forschungszentrum Julich GmbH, Juelich)
資料名： Nanotechnology  (Nanotechnology)
巻： 20  号： 6  ページ： 065303 (6 PP.)  発行年： 2009年 
JST資料番号： W0108A  ISSN： 0957-4484  CODEN： NNOTER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 幅~1.4μm,最大長~5mmの規則配列したマイクロストリップ領域を,選択領域イオン注入および熱酸化の二段階過程によって石英基板上に作製した。レジストマスクを介した周期的マイクロストリップ領域へ60keV-Znイオンを注入することによって,大きな翼を持つ周期的溝が石英ガラス表面に生じたが,これは,石英の照射誘起塑性変形およびスパッタ損失が原因であった。これは,石英で照射誘起塑性変形を生じるための電子エネルギー損失(Se)値の最低記録であったが,一方最近の研究では,零ないし非常に低い閾値エネルギーが予測されている。700°Cで1hの熱酸化後,翼付き溝構造は消失した,そして基板表面に最大長5mmのZnOナノ粒子集合体の周期的マイクロストリップが出現した。光吸収スペクトルおよび光ルミネセンススペクトルの双方で,これらZnOナノ粒子のマイクロストリップ構造による明確な自由励起子ピークを観測した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 化合物半導体 ,  バンドギャップ ,  *亜鉛化合物 ,  酸化物 ,  スパッタリング ,  亜鉛 ,  イオン注入 ,  熱酸化 ,  *ナノ粒子 ,  凝集体 ,  *マイクロストリップ線路 ,  周期構造 ,  石英ガラス ,  基板 ,  翼 ,  溝 ,  照射 ,  誘導 ,  塑性変形 ,  損失 ,  エネルギー ,  エネルギー損失 ,  閾値 ,  光吸収 ,  スペクトル ,  光ルミネセンス ,  赤外スペクトル ,  可視スペクトル ,  励起子 ,  温度 ,  ナノテクノロジー ,  微細加工 ,  ワイドバンドギャップ ,  電子エネルギー
準シソーラス用語： *マイクロストリップ

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： イオン注入 ,  熱酸化 ,  ZnOナノ粒子 ,  集合体 ,  マイクロストリップ