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J-GLOBAL ID:201202294978155520   整理番号:12A0773114

焦点超音波トランスジューサ応用の化学的起泡処理による微小ガラスマイクロ流体デバイスの調製

PREPARATION OF A MICRO GLASS MICROFLUIDIC DEVICE BY A CHEMICAL FOAMING PROCESS FOR APPLICATIONS OF A FOCUS ULTRASONIC TRANSDUCER
著者 (7件):
資料名:
巻: 25th Vol.2  ページ: 1089-1092  発行年: 2012年 
JST資料番号: W0377A  ISSN: 1084-6999  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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微小ガラスマイクロ流体デバイスの新しい製作手法を提示した。このデバイスの製造法は,簡便性,CFP(化学的起泡処理)の低コストと,平滑性と対称構造を生み出すための起泡剤から放出されたガスによって駆動される表面張力の点で,有利である。マイクロ流体デバイスをシリコンウエハのパターン通りに異なる形に製作できる。微小ガラスマイクロ流体アレイを記述し,この中に生物学試料を入れて異なる溶媒に,このアレイを注入することができる。圧電セラミック作動や共通加工の電磁加工によって,微小ガラスマイクロ流体バブルが,気泡の振動によって生成された超音波を用い,細胞やDNAのような生物学的試料の表面を焼くと期待した。著者らの目的はMEMS技術とCFP処理をベースにしてラボオンチップ集積システムを実現することである。本研究はその端緒となるものである。
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分類 (2件):
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音響変換器,その他の機器  ,  生物物理的研究法 

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