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J-GLOBAL ID：201202295086727339   整理番号：12A0524437

圧電アクチュエータを使った静電懸架装置

An electrostatic suspension system using piezoelectric actuators

著者 (4件)： LE T T (Univ. Ulsan, Ulsan, KOR) ,  JEON J U (Univ. Ulsan, Ulsan, KOR) ,  WOO S J (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  HIGUCHI T (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
資料名： Smart Materials and Structures  (Smart Materials and Structures)
巻： 21  号： 2  ページ： 025012,1-8  発行年： 2012年02月 
JST資料番号： W0480A  ISSN： 0964-1726  CODEN： SMSTER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高コスト効率と高性能が得られる新しいタイプの静電懸垂装置を提案した。従来式装置は懸架物体に加える静電力を固定電極に供給される電圧を制御することで制御するため,高価な高電圧増幅器と大形の振動増幅器が必要であった。これらの不利を回避するために,新しいタイプは固定電極に代えて可動電極を利用することにした。高電圧電源からの一定の高電圧を電極に供給し,電極と懸架物体間のギャップ長を圧電アクチュエータで制御する方式である。圧電アクチュエータは比例積分微分(PID)制御器を使って制御し,スイッチは不要である。装置構成と実験結果を詳細に報告した。4インチSiウエハを機械的接触なしに安定に動作させることができた。この装置は半導体や液晶ディスプレイの製造に有利である。

シソーラス用語： *アクチュエータ ,  *懸架装置 ,  位置制御 ,  PID動作 ,  高電圧 ,  静電エネルギー ,  原価低減 ,  懸垂 ,  ウエハ【IC】 ,  制御系 ,  半導体プロセス
準シソーラス用語： *圧電アクチュエータ ,  Siウエハ

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  電気式制御機器  (IC02020Y)

タイトルに関連する用語 (2件)： 圧電アクチュエータ ,  懸架装置