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J-GLOBAL ID：201202295165960022   整理番号：12A1099747

スパッタリングとスピンコーティングポリテトラフルオロエチレン薄膜を含む水晶振動子微量天秤(QCM)を用いる活性酸素センサ

Active oxygen sensors used a quartz crystal microbalance (QCM) with sputter-coated and spin-coated poly(tetrafluoroethylene) thin films

著者 (5件)： IWAMORI Satoru (Tokai Univ., 4-1-1, Kitakaname, Hiratsuka, Kanagawa 259-1292, JPN) ,  YOSHINO Kiyoshi (Iwasaki Electric Co. Ltd., 1-20, Fujimicho Gyoda, Saitama 361-0021, JPN) ,  MATSUMOTO Hiroyuki (Iwasaki Electric Co. Ltd., 1-20, Fujimicho Gyoda, Saitama 361-0021, JPN) ,  NODA Kazutoshi (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 16-1 Onogawa, Tsukuba, Ibaragi 305-8569, JPN) ,  NISHIYAMA Itsuo (Daipla Wintes Co., Ltd., 1-3-26, Nagasu Nishi Dori, Amagasaki City 660-0807, JPN)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 171-172  ページ： 769-776  発行年： 2012年08月 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 物理蒸着(PVD)により調製した有機薄膜は純粋材料と比べ,複雑な構造を持つ。それ故,これらの薄膜は異なる表面特性を示すポテンシャルを持つ。ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)はフッ化炭素高分子の1つで,水晶上へのPTFEターゲットを用いたr.f.スパッタリングとPTFE分散系によるスピンコーティングにより沈着させたフッ化炭素薄膜を調べ,活性酸素センサ応用向けの適合性を決定した。フッ化炭素薄膜で被覆したQCM電極を用い,紫外線照射下で生成した活性酸素は効果的に周波数シフトから検出できた。r.f.スパッタリングにより調製した薄膜の活性酸素に対する感度は,スピンコーティングにより調整した薄膜のものより高かった。PTFEターゲットを用いr.f.スパッタリングにより調製したフッ化炭素薄膜の分子構造は純粋なPTFEとかなり異なることが知られている。これが,活性酸素に対するスパッタリング薄膜感度がスピンコーティングにより調製した薄膜のものより高い理由の1つであることが考えられた。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *活性酸素 ,  *ガスセンサ ,  *微量天秤 ,  *被覆 ,  *薄膜 ,  *RFスパッタリング ,  *スピンコーティング ,  *ポリテトラフルオロエチレン ,  脂肪族フッ素化合物 ,  紫外線照射 ,  周波数シフト ,  分子構造 ,  感度
準シソーラス用語： *水晶振動子微量天秤 ,  フッ化炭素

分類 (4件)： 分析機器  (CC02020S) ,  有機化合物の薄膜  (BK14070L) ,  薄膜成長技術・装置  (BK14020I) ,  質量,密度,比重の計測法・機器  (AD05030Z)

タイトルに関連する用語 (6件)： スパッタリング ,  薄膜 ,  水晶振動子微量天秤 ,  QCM ,  活性 ,  酸素センサ