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J-GLOBAL ID：201202295316219982   整理番号：12A1547801

平行した超小型組み立によるマイクロコイルの製作

Fabrication of a Microcoil Through Parallel Microassembly

著者 (3件)： CHU Henry K. (Univ. Toronto, ON, CAN) ,  MILLS James K. (Univ. Toronto, ON, CAN) ,  CLEGHORN William L. (Univ. Toronto, ON, CAN)
資料名： Proceedings. IEEE International Conference on Robotics and Automation  (Proceedings. IEEE International Conference on Robotics and Automation)
巻： 2012 Vol.7  ページ： 5050-5055  発行年： 2012年 
JST資料番号： T0044A  ISSN： 1050-4729  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 最近,コイル構造をRFスイッチ中のアクチュエータとしてMEMSの分野で使用する可能性が検討されている。本稿では,ロボットによる平行した同時超小型組み立法を使った三次元マイクロコイルの設計と製作について報告した。このコイルは9個の面外微小巻線でできており,ベース基板に直交して組み立てられている。3個の巻線を同時に掴み組み立てる。これらの組み立てに使う高精度位置決めのテンプレートと位置と角度を評価するアルゴリズムを作成した。巻線とベース基板の電気的接触のために導電性接着剤を使用した。この方法で組み立てたマイクロコイルの評価結果を示した。

シソーラス用語： *組立 ,  *コイル状体 ,  アクチュエータ ,  MEMS ,  *ロボット ,  巻線 ,  つかみ装置 ,  位置決め ,  型枠 ,  板 ,  接着剤 ,  導電性
準シソーラス用語： テンプレート【型板】 ,  *マイクロコイル ,  ロボット組立 ,  *超小型組立 ,  導電性接着剤

分類 (2件)： 産業用ロボット  (IC04020M) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 平行 ,  超小型組み立 ,  マイクロコイル ,  製作