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J-GLOBAL ID：201202295347751399   整理番号：12A0264287

充填剤制御の熱分解を用いた製造と石英ウエハ上のポリシラザンPDC RTDアレイのキャラクタリゼーション

Fabrication using filler controlled pyrolysis and characterization of polysilazane PDC RTD arrays on quartz wafers

著者 (6件)： JUNG Sunghoon (Dep. of Mechanical and Aerospace Engineering, Univ. of Missouri, Columbia, MO 65211, USA) ,  SEO Duckbong (Dep. of Mechanical and Aerospace Engineering, Univ. of Missouri, Columbia, MO 65211, USA) ,  LOMBARDO Stephen J. (Dep. of Mechanical and Aerospace Engineering, Univ. of Missouri, Columbia, MO 65211, USA) ,  FENG Z.c. (Dep. of Mechanical and Aerospace Engineering, Univ. of Missouri, Columbia, MO 65211, USA) ,  CHEN J.k. (Dep. of Mechanical and Aerospace Engineering, Univ. of Missouri, Columbia, MO 65211, USA) ,  ZHANG Yuwen (Dep. of Mechanical and Aerospace Engineering, Univ. of Missouri, Columbia, MO 65211, USA)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 175  ページ： 53-59  発行年： 2012年03月 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ポリマで生成されたセラミック(PDC)から作った抵抗-温度検出器(RTD)を生産するための製造プロセスを開発した。複合材セラミックRTDを製造するために,石英基板上でポリマのスクリーン印刷を使用した。PDCの焼結縮み問題を克服するために,熱分解前にポリシラザンポリマに活性充填粉末を加えた。60wt%のAl又は80wt%のTiB₂を用いて,セラミック複合材の線形焼結縮みを零近くまで減らし,このことが複合材に石英基板の上で何の損傷も無しに存続することを可能にした。金電極センサの電気抵抗を高温で計測した。セラミック複合材RTDの組成を決定するために,XRD及びSEM解析を行った。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *充填剤 ,  *熱分解 ,  *石英 ,  *ウエハ【IC】 ,  ポリシラザン ,  *セラミック ,  温度センサ ,  複合材料
準シソーラス用語： 温度検出器 ,  複合材

分類 (2件)： セラミック材料  (HC02040T) ,  セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V)

タイトルに関連する用語 (8件)： 充填剤 ,  熱分解 ,  石英 ,  ウエハ ,  ポリシラザン ,  PDC ,  アレイ ,  キャラクタリゼーション