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J-GLOBAL ID：201202295473111885   整理番号：12A0859125

多結晶標的のマグネトロンスパッタリング時の原子の角度分布

Angular distribution of atoms during the magnetron sputtering of polycrystalline targets

著者 (3件)： MARTYNENKO Yu. V. (Russian Res. Centre “Kurchatov Inst.,”, pl. Kurchatova 1, 123182, Moscow, RUS) ,  ROGOV A. V. (Russian Res. Centre “Kurchatov Inst.,”, pl. Kurchatova 1, 123182, Moscow, RUS) ,  SHUL’GA V. I. (Moscow State Univ., Inst. of Nuclear Physics, 119992, Moscow, RUS)
資料名： Technical Physics  (Technical Physics)
巻： 57  号： 4  ページ： 439-444  発行年： 2012年04月 
JST資料番号： E0952A  ISSN： 1063-7842  CODEN： TEPHEX  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (5件)： 多結晶 ,  標的 ,  マグネトロンスパッタリング ,  原子 ,  角度分布