文献

J-GLOBAL ID：201202295914086970   整理番号：12A1116718

バイメタル薄膜のレーザアニーリング:複合ナノ構造作製への道筋

Laser annealing of bimetal thin films: A route of fabrication of composite nanostructures

著者 (6件)： NEDYALKOV N.n. (Inst. of Electronics, Bulgarian Acad. of Sciences, 72 Tzarigradsko Shousse, Sofia 1784, BGR) ,  NIKOV Ru. (Inst. of Electronics, Bulgarian Acad. of Sciences, 72 Tzarigradsko Shousse, Sofia 1784, BGR) ,  DIKOVSKA A.og. (Inst. of Electronics, Bulgarian Acad. of Sciences, 72 Tzarigradsko Shousse, Sofia 1784, BGR) ,  ATANASOV P.a. (Inst. of Electronics, Bulgarian Acad. of Sciences, 72 Tzarigradsko Shousse, Sofia 1784, BGR) ,  OBARA G. (Dep. of Electronics and Electrical Engineering, Fac. of Sci. and Technol., Keio Univ., 3-14-1 Hiyoshi, Kohoku-ku ...) ,  OBARA M. (Dep. of Electronics and Electrical Engineering, Fac. of Sci. and Technol., Keio Univ., 3-14-1 Hiyoshi, Kohoku-ku ...)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 258  号： 23  ページ： 9162-9166  発行年： 2012年09月15日 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： この論文はバイメタル薄膜のレーザナノ構造化の結果の報告である。薄膜は異なる金属から作られた2つのセクションからなるターゲットを用いた古典的な軸上パルスレーザ堆積技術によって堆積された。この技術を用いて,金/ニッケルまたは金/銀の薄膜を石英基板上に堆積した。ターゲットの異なるセクションの面積を変えることによって,2つの金属の濃度が異なる薄膜が得られた。作製された薄膜はその後λ=355nmで動作するNd:YAGレーザシステムからのナノ秒レーザパルスによってアニールされた。作製された薄膜の修飾をパルス数,レーザフルエンスのような入射照射パラメータと薄膜の組成,環境の特性の関数として研究した。レーザアニーリングはある条件では薄膜がサイズ分布の狭いナノ粒子のモノレイヤに分解するといった薄膜のナノ構造化に導くことを見出した。EDX解析の結果は作製された粒子が用いたベース金属のバイメタルシステムからなっていることを示している。得られた構造の消光スペクトルは薄膜のベース金属の比率を変えることによって共鳴波長が広い範囲で同調できるプラズモン励起を示している。得られた構造はSERSや磁気光学に用いられる。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *バイメタル ,  *金属薄膜 ,  *レーザアニーリング ,  金 ,  銀 ,  ニッケル ,  *ナノ構造 ,  基板 ,  Nd-YAGレーザ ,  ナノ秒 ,  *レーザ蒸着 ,  エネルギー分散X線分光分析 ,  *表面プラズモン ,  *光学定数 ,  表面増強Raman分光法 ,  磁気光学効果 ,  *パルスレーザ蒸着
準シソーラス用語： 石英基板

分類 (3件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  レーザ照射・損傷  (BK16040S) ,  固体プラズマ  (BM02160W)

タイトルに関連する用語 (6件)： バイメタル ,  薄膜 ,  レーザアニーリング ,  ナノ構造 ,  作製 ,  道筋