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J-GLOBAL ID：201202296624766290   整理番号：12A0658730

高分解能探針を用いた高密度磁気記録媒体の磁気力顕微鏡観察

Magnetic Force Microscopy of High-Density Magnetic Recording Media by Using High-Resolution Tips

著者 (5件)： 長野克政 (中央大学理工学部) ,  戸張公介 (中央大学理工学部) ,  そね田和希 (中央大学理工学部) ,  大竹充 (中央大学理工学部) ,  二本正昭 (中央大学理工学部)
資料名： Journal of the Magnetics Society of Japan  (Journal of the Magnetics Society of Japan)
巻： 36  号： 2  ページ： 109-115 (J-STAGE)  発行年： 2012年 
JST資料番号： Z0944A  ISSN： 1882-2924  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 垂直磁気記録の状態観察に求められる高分解能を有する磁気力顕微鏡(MFM)の実現に必要な被覆材料の種類と被覆膜厚がMFM探針の高分解能化に及ぼす影響を調べた。MFM探針作成法と走査型プローブ顕微鏡による観察法を示した。MFM探針の形状,構造を示し,探針被覆膜の結晶構造と磁気特性を評価して,MFM探針の諸特性を考察した。MFM探針の反転磁界の膜厚保依存性について説明し,作製したMFM探針の分解能を評価した。高残留磁化値を持つ材料を被覆した探針を用いて,薄い膜厚で高い分解能が得られることを示した。数nmオーダでの高精度位置決め技術を検討し,これを用いた高密度記録媒体の同一箇所MFM観察の結果を紹介した。

シソーラス用語： 高分解能 ,  プローブ ,  *記憶媒体 ,  *磁気記録 ,  *記録密度 ,  *垂直磁気記録 ,  磁気力顕微鏡 ,  顕微鏡観察 ,  被覆材 ,  皮膜 ,  膜厚 ,  結晶構造 ,  磁気的性質
準シソーラス用語： 高密度記録

分類 (1件)： 電子・磁気・光学記録  (NC06020F)

引用文献 (19件)：

• 1) Y. Martin and K. Wickramsinghe: Appl. Phys. Lett., 50, 1455 (1987).
• 2) T. Suzuki, Z. Zhang, A. Singh, J. Yin, A. Perumal, and H. Osawa: IEEE Trans. Magn., 41, 555 (2005).
• 3) S. Ishio, T. Wasiya, H. Saito, J. Bai, and W. Pei: J. Appl.Phys., 99, 093907 (2006).
• 4) Y. Yasui, K. Shimomai, and M. Futamoto: J. Magn. Soc. Jpn., 31, 312 (2007).
• 5) K. Nagano, S. Sasaki, and M. Futamoto: J. Magn. Soc. Jpn., 34, 185 (2010).

タイトルに関連する用語 (5件)： 高分解能 ,  探針 ,  高密度磁気記録媒体 ,  磁気力顕微鏡 ,  観察