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J-GLOBAL ID：201202298933280531   整理番号：12A0263218

安価なバナジウム-タングステン共スパッタ薄膜のミクロ構造とサーモクロミズム特性

Microstructures and thermochromic characteristics of low-cost vanadium-tungsten co-sputtered thin films

著者 (11件)： ZHOU Sheng ,  LI Yi ,  ZHU Huiqun ,  SUN Ruoxi ,  ZHANG Yuming ,  HUANG Yize ,  LI Liu ,  SHEN Yujian ,  ZHEN Qiuxin ,  TONG Guoxiang ,  FANG Baoying
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 206  号： 11-12  ページ： 2922-2926  発行年： 2012年02月15日 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 室温におけるマグネトロンスパッタリングと空気雰囲気下の焼鈍で低価格でのタングステン-バナジウム(W-V)共スパッタ薄膜をガラス基材に首尾よく合成した。薄膜のミクロ構造と光学的性質をX線光電子分光(XPS),X線回折(XRD),走査電子顕微鏡(SEM),分光光度計の4つのアプローチでキャラクタライズした。XPS分析によるとW-V共スパッタ薄膜は主としてVO₂とW⁶⁺で構成されていて,少量のV₂O₅とその他のタングステン-バナジウム化合物が含まれていた。XRDパターンで,W-V共スパッタ薄膜は多結晶で,W-V共同スパッタのアプローチは薄膜の優先配向成長を変えないことが図示された。SEM像でVO₂薄膜は形が不規則でランダムに分布しているが,W-V共スパッタ薄膜は棒状のモルホロジーを持つことが観察された。分光光度計スペクトルによると,W-Vの共スパッタのアプローチで相転移温度が68°Cから40°Cまで低下し,温度ヒステリシスループが6°Cから3°Cまで狭くなった。しかし,純粋なVO₂薄膜と比較して,このアプローチの赤外透過率への影響は少なかった。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *バナジウム ,  *タングステン ,  *スパッタ蒸着 ,  *蒸着膜 ,  *同時蒸着 ,  *サーモクロミズム ,  微細構造 ,  原価低減 ,  空気 ,  雰囲気 ,  焼なまし ,  相組成 ,  酸化バナジウム ,  金属イオン ,  タングステン化合物 ,  バナジウム化合物 ,  形態 ,  優先配向 ,  多結晶 ,  転移温度 ,  透過率 ,  光透過 ,  赤外線 ,  基板
準シソーラス用語： ガラス基板 ,  タングステンイオン ,  *共スパッタリング ,  光透過率

分類 (1件)： その他の光学的効果  (BM08040H)

タイトルに関連する用語 (6件)： バナジウム ,  タングステン ,  スパッタ ,  薄膜 ,  ミクロ構造 ,  サーモクロミズム