特許
J-GLOBAL ID:201203003100020718

X線回折装置及びX線回折の測定方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 磯野 道造 ,  多田 悦夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-254443
公開番号(公開出願番号):特開2012-103224
出願日: 2010年11月15日
公開日(公表日): 2012年05月31日
要約:
【課題】従来は測定し難かった測定対象物であっても容易に測定できるX線回折装置及びX線回折の測定方法を提供する。【解決手段】X線を照射するX線照射源1と、X線が測定対象物9に照射されて回折したX線を検出する検出器2と、X線照射源1と検出器2とを移動可能に支持する支持部材10と、を備えているX線回折装置100であって、支持部材10は、直交する二軸のそれぞれの軸方向に、それぞれ独立して移動可能な第1の位置決め手段13及び第2の位置決め手段14と、二軸に垂直な軸の軸方向に移動可能な第3の位置決め手段15とを備え、X線照射源1及び検出器2が固定された第1の位置決め手段13、第2の位置決め手段14及び第3の位置決め手段15が所定の位置に移動することにより、X線の照射位置及び回折したX線の検出位置が決定されるように構成されているX線回折装置。【選択図】図1
請求項(抜粋):
X線を照射するX線照射源と、 前記X線が測定対象物に照射されて回折した前記X線を検出する検出器と、 前記X線照射源と前記検出器とを移動可能に支持する支持部材と、 を備えているX線回折装置であって、 前記支持部材は、 直交する二軸のそれぞれの軸方向に、それぞれ独立して移動可能な第1の位置決め手段及び第2の位置決め手段と、前記二軸に垂直な軸の軸方向に移動可能な第3の位置決め手段とを備え、 前記X線照射源及び前記検出器が固定された前記第1の位置決め手段、前記第2の位置決め手段及び前記第3の位置決め手段が所定の位置に移動することにより、前記X線の照射位置及び回折した前記X線の検出位置が決定されるように構成されている ことを特徴とする、X線回折装置。
IPC (1件):
G01N 23/207
FI (1件):
G01N23/207
Fターム (12件):
2G001AA01 ,  2G001BA18 ,  2G001CA01 ,  2G001DA02 ,  2G001DA09 ,  2G001GA06 ,  2G001HA01 ,  2G001KA01 ,  2G001KA08 ,  2G001KA20 ,  2G001MA06 ,  2G001QA04
引用特許:
審査官引用 (5件)
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引用文献:
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