特許

J-GLOBAL ID：201203004047688090

レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法

発明者： 落合 光良 ,  市川 幸司
出願人/特許権者： 住友化学株式会社
代理人 (2件)： 中山 亨 ,  坂元 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-208602
公開番号（公開出願番号）：特開2012-107204
出願日： 2011年09月26日
公開日（公表日）： 2012年06月07日
要約：

【課題】CD均一性に優れ、欠陥の発生数の少ないレジスト組成物に有用な樹脂及びレジスト組成物を提供する。【解決手段】以下の〔1〕及び〔1〕と、酸発生剤と、溶剤とを含有するレジスト。〔1〕式(a)で表される構造単位を有する樹脂。[式(a)中、Rfは、フッ素原子又はフッ素化アルキル基を表す。Wは、炭素数3〜36の脂肪族環を表す。Rxは、ハロゲン原子を有してもよいアルキル基、水素原子又はハロゲン原子を表す。]【選択図】なし

請求項（抜粋）：

式(a)で表される構造単位を有する樹脂。

IPC (6件)：

C08F 20/22 ,  G03F 7/039 ,  G03F 7/004 ,  H01L 21/027 ,  C07D 321/02 ,  C07D 321/12

FI (6件)：

C08F20/22 ,  G03F7/039 601 ,  G03F7/004 501 ,  H01L21/30 502R ,  C07D321/02 ,  C07D321/12

Fターム (60件)：

2H125AF18P ,  2H125AF22P ,  2H125AF36P ,  2H125AF38P ,  2H125AH17 ,  2H125AH19 ,  2H125AH24 ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ64X ,  2H125AJ65X ,  2H125AJ68X ,  2H125AJ69X ,  2H125AM22P ,  2H125AM91P ,  2H125AM99P ,  2H125AN38P ,  2H125AN39P ,  2H125AN45P ,  2H125AN54P ,  2H125AN65P ,  2H125BA02P ,  2H125BA26P ,  2H125CA12 ,  2H125CB09 ,  2H125FA03 ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100AL08S ,  4J100AL08T ,  4J100AM17P ,  4J100BA03Q ,  4J100BA11R ,  4J100BA11S ,  4J100BA15P ,  4J100BA15S ,  4J100BA28P ,  4J100BA58P ,  4J100BB12T ,  4J100BB13P ,  4J100BB18P ,  4J100BC03Q ,  4J100BC09P ,  4J100BC09Q ,  4J100BC09T ,  4J100BC43P ,  4J100BC53R ,  4J100BC53S ,  4J100BC58T ,  4J100CA03 ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100DA01 ,  4J100FA03 ,  4J100FA19 ,  4J100FA28 ,  4J100FA30 ,  4J100GC07 ,  4J100GC16 ,  4J100JA38