特許
J-GLOBAL ID：201203004230048505
共振ジャイロスコープの連結構造
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
村山 靖彦
, 志賀 正武
, 渡邊 隆
, 実広 信哉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-510283
公開番号（公開出願番号）：特表2012-526974
出願日： 2010年05月12日
公開日（公表日）： 2012年11月01日
要約：
本発明は、基板上に作られた共振マイクロジャイロスコープの連結構造(5)に関し、連結構造は、励起手段(3,4)によって与えられた振動運動が第1軸に沿って検出されることを可能にし、かつ第1軸を含む平面に載置された振動質量体(1,2)に伝達されることを可能にする。連結構造は、振動質量体にのみ固定されるような、振動質量体に接続されたビーム(5)の閉じた組立体を含み、励起手段によって与えられた振動運動を検出するように、かつ前記平面に収容される少なくとも第2軸に沿って振動質量体(1,2)に伝達するように組立体は配置され、連結構造は、固定点を有しない。
請求項（抜粋）：
基板上に作られた共振マイクロジャイロスコープの連結構造であって、
該連結構造は、励起手段(3,4,130,140,150,160)によって与えられた第1軸に沿った振動運動が検出されることを可能にし、かつ該振動運動が前記第1軸を含む平面に載置された振動質量体(1,2,11,12,13,14)に伝達されることを可能にする連結構造において、
前記連結構造が、前記振動質量体に接続されたビームの閉じた組立体(5,100)を含み、該ビームは前記振動質量体にのみに固定され、
前記励起手段によって提供された前記振動運動を検出し、かつそれを少なくとも前記平面に含まれる第2軸に沿って前記振動質量体へ伝達するように前記組立体が配置され、
前記連結構造は、前記基板への固定点を有さない
ことを特徴とする連結構造。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (9件)：
2F105AA02
, 2F105AA03
, 2F105AA06
, 2F105BB03
, 2F105BB12
, 2F105CC04
, 2F105CC11
, 2F105CD03
, 2F105CD05
