特許

J-GLOBAL ID：201203005304103011

金型用基板及び金型用基板の検査方法

発明者： 原田 大実 ,  竹内 正樹
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (4件)： 小島 隆司 ,  重松 沙織 ,  小林 克成 ,  石川 武史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-027405
公開番号（公開出願番号）：特開2012-166380
出願日： 2011年02月10日
公開日（公表日）： 2012年09月06日
要約：

【解決手段】表面に凹凸パターンが形成される直径が125〜300mmである円形状の金型用基板であって、該基板の直径125mm以下の円内の厚さばらつきが2μm以下である金型用基板。【効果】表面に凹凸によるパターンが形成される円形状の金型用基板であって、上記基板の中心の直径125mm以下の円内の厚さばらつきが2μm以下である金型用基板を使用することによって、金型用基板上にパターンを作成するときと転写するときとでパターン位置が不整合になったり、パターン誤差が生じたりすることを防ぐことができ、高精細で複雑なパターンの転写が可能になる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

表面に凹凸パターンが形成される直径が125〜300mmである円形状の金型用基板であって、該基板の直径125mm以下の円内の厚さばらつきが2μm以下であることを特徴とする金型用基板。

IPC (3件)：

B29C 33/38 ,  H01L 21/027 ,  B29C 59/02

FI (3件)：

B29C33/38 ,  H01L21/30 502D ,  B29C59/02 B

Fターム (28件)：

4F202AF01 ,  4F202AG05 ,  4F202AH33 ,  4F202AJ02 ,  4F202AJ03 ,  4F202AJ06 ,  4F202AJ09 ,  4F202AP11 ,  4F202AQ01 ,  4F202AR12 ,  4F202AR13 ,  4F202CA19 ,  4F202CA30 ,  4F202CB01 ,  4F202CD25 ,  4F209AJ02 ,  4F209AJ08 ,  4F209AJ09 ,  4F209AP20 ,  4F209AR20 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PN06 ,  4F209PN09 ,  4F209PN13 ,  4F209PQ11 ,  5F046AA28 ,  5F146AA28