特許
J-GLOBAL ID：201203005376561405
電気的接触子ユニット
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大槻 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-114101
公開番号（公開出願番号）：特開2012-242299
出願日： 2011年05月20日
公開日（公表日）： 2012年12月10日
要約：
【課題】 狭小な電極パッドが狭ピッチで配置された半導体デバイスの電気的特性試験が可能な電気的接触子ユニットを提供する。【解決手段】 コンタクトプローブ1a(1b)は、一端にコンタクト部10が形成されたコンタクト軸11と、コンタクト軸11から互いに反対方向へ分岐し、ガイド板3(4)に当接する一対のアーム部12a(12b)とを備えている。このため、コンタクト部10を検査対象物に接触させることによって受ける圧力を一対のアーム部12a(12b)に分散させ、弾性変形したアーム部12a(12b)の反発力のうち、ガイド板3(4)に平行な成分を打ち消すことにより、コンタクト部10のスクラブ量を抑制することができる。従って、十分なオーバードライブ量と、適度なスクラブ量とを確保し、コンタクト部10が検査対象物の電極パッドから外れるのを抑制することができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
貫通孔を有するガイド板と、
一端にコンタクト部が形成された直線状のコンタクト軸、並びに、当該コンタクト軸から互いに反対方向へ分岐する一対のアーム部を有し、上記コンタクト軸が上記貫通孔を貫通する電気的接触子とを備え、
上記アーム部が、上記ガイド板の上記コンタクト部側の第1面に当接し、上記コンタクト軸を軸方向に移動可能に支持することを特徴とする電気的接触子ユニット。
IPC (3件)：
G01R 1/073
, G01R 31/26
, H01L 21/66
G01R1/073 D
, G01R31/26 J
, H01L21/66 B
2G003AA10
, 2G003AG04
, 2G003AG08
, 2G003AG12
, 2G003AH00
, 2G003AH07
, 2G011AA16
, 2G011AC13
, 2G011AC14
, 2G011AE03
, 2G011AF07
, 4M106AA01
, 4M106BA01
, 4M106DD03
, 4M106DD10
