特許
J-GLOBAL ID:201203006491449240

トールボット干渉を用いた撮像装置および撮像装置の調整方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 阿部 琢磨 ,  黒岩 創吾
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-172973
公開番号(公開出願番号):特開2012-108098
出願日: 2011年08月08日
公開日(公表日): 2012年06月07日
要約:
【課題】回折格子と遮蔽格子を有するタルボ干渉法を用いた撮像装置において、回折格子および遮蔽格子の姿勢のずれによるキャリア周波数に対応するスペクトル強度の低下を軽減する。【解決手段】撮像装置はX線源110とX線源110から出射したX線を回折する回折格子130と回折格子130によって回折されたX線の一部を遮る遮蔽格子150と遮蔽格子150を経たX線の強度分布を検出する検出器170とを有する。更に、撮像装置は、調整部190を有する。調整部190は、検出器170で検出された強度分布を複数の領域に分割し、複数の領域の強度分布に基づいて、回折格子130および遮蔽格子150のうち少なくともいずれか一方の姿勢を調整する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
電磁波を回折する回折格子と、 前記回折格子によって回折された前記電磁波の一部を遮る遮蔽格子と、 前記遮蔽格子を経た前記電磁波の強度分布を検出する検出器と、 前記検出器の検出結果に基づいて前記回折格子および遮蔽格子のうち少なくともいずれか一方の姿勢を調整する調整部と、を有し、 前記調整部は、 前記検出器で検出された前記強度分布を複数の領域に分割し、 前記複数の領域の前記強度分布に基づいて、前記回折格子および前記遮蔽格子のうち少なくともいずれか一方の姿勢を調整することを特徴とする撮像装置。
IPC (1件):
G01N 23/02
FI (1件):
G01N23/02
Fターム (9件):
2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001BA18 ,  2G001CA01 ,  2G001EA01 ,  2G001GA06 ,  2G001HA07 ,  2G001HA09 ,  2G001HA13
引用特許:
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)
引用文献:
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