特許

J-GLOBAL ID：201203007659503307

ウエハ加工用粘着テープ及びその製造方法並びに使用方法

発明者： 相原 伸 ,  古賀 仁
出願人/特許権者： 三井化学株式会社
代理人 (1件)： 中嶋 重光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-124009
公開番号（公開出願番号）：特開2012-036374
出願日： 2011年06月02日
公開日（公表日）： 2012年02月23日
要約：

【課題】 ウエハをチップに切断加工する際に、欠けや亀裂の大きさを極小化し、その発生も抑制できるウエハ加工用粘着テープを提供する。また、環境に優しい該粘着テープの製造方法を提供する。さらには、ウエハ加工用粘着テープの性能を最大限に発揮できる使用方法を提供する。【解決手段】 基材層の片面にプロピレン、1-ブテン及び炭素原子数5〜12のα-オレフィンを単位成分とするα-オレフィン共重合体1種または2種以上の混合物を30重量%で含有する粘着層を有する粘着テープであって、該粘着層の15〜35°Cにおける貯蔵弾性率G'が1MPa以上であり、損失弾性率G''の貯蔵弾性率G'に対する比であるtanδが、0.05以上であることを特徴とするウエハ加工用粘着テープ。【選択図】 図9

請求項（抜粋）：

基材層の片面にプロピレン、1-ブテン及び炭素原子数5〜12のα-オレフィンを単位成分とするα-オレフィン共重合体1種または2種以上の混合物を30重量%で含有する粘着層を有する粘着テープであって、該粘着層の15〜35°Cにおける貯蔵弾性率G'が1MPa以上であり、損失弾性率G"の貯蔵弾性率G'に対する比であるtanδが、0.05以上であることを特徴とするウエハ加工用粘着テープ。

IPC (8件)：

C09J 7/02 ,  C09J 123/00 ,  C09J 123/12 ,  C09J 123/18 ,  C09J 123/08 ,  C09J 153/00 ,  B32B 27/32 ,  H01L 21/301

FI (9件)：

C09J7/02 Z ,  C09J123/00 ,  C09J123/12 ,  C09J123/18 ,  C09J123/08 ,  C09J153/00 ,  B32B27/32 103 ,  H01L21/78 M ,  H01L21/78 Q

Fターム (55件)：

4F100AK03A ,  4F100AK03C ,  4F100AK28C ,  4F100AK62B ,  4F100AK67B ,  4F100AL02C ,  4F100AL09B ,  4F100AL09C ,  4F100AR00C ,  4F100AT00A ,  4F100BA02 ,  4F100BA03 ,  4F100BA07 ,  4F100EH20 ,  4F100GB41 ,  4F100JB16B ,  4F100JB16C ,  4F100JL00 ,  4F100YY00B ,  4J004AA02 ,  4J004AA07 ,  4J004AB01 ,  4J004CA04 ,  4J004CA06 ,  4J004CA08 ,  4J004CB02 ,  4J004CC02 ,  4J004CC03 ,  4J004DB02 ,  4J004EA01 ,  4J004EA06 ,  4J004FA05 ,  4J004FA08 ,  4J040DA001 ,  4J040DA002 ,  4J040DA032 ,  4J040DA111 ,  4J040DA131 ,  4J040DB022 ,  4J040DM002 ,  4J040DM012 ,  4J040DM022 ,  4J040ED002 ,  4J040EF002 ,  4J040EG002 ,  4J040JA09 ,  4J040JB09 ,  4J040KA26 ,  4J040LA06 ,  4J040MA04 ,  4J040MA10 ,  4J040NA20 ,  4J040PA20 ,  4J040PA23 ,  4J040PA42